全自動FOUP清洗機
特征和優(yōu)點:
可應用不同化學品(稀釋劑)來清洗;
泵傳輸清洗液;
計量調(diào)整可通過軟件設置控制操作;
熱水噴淋裝置;
熱水一般由廠務供應一標準化;
或有一個體積約100升的熱水預備槽(循環(huán)泵和加熱棒用于熱水預備槽選項)
圖形化的界面:
易于操作和控制;
10“觸摸屏PLC控制器;
SECSIIGEM接口一選項>授權訪問的密碼保護;
可以編輯40多個菜單,每個菜單可有50步;
可變量數(shù)據(jù)輸入(時間、溫度、速度等);
設備背面安裝第二個觸摸屏一選項;
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FOUP是一種用于運輸和儲存半導體晶圓的載具,因此,F(xiàn)OUP內(nèi)可能存在多種類型的污染物。以下是一些常見的FOUP內(nèi)污染物的種類:
顆粒:顆粒是常見的FOUP內(nèi)污染物之一。它們可以是空氣中懸浮的固體顆粒,如灰塵、細粉、纖維等,也可以是由FOUP本身或制造過程中產(chǎn)生的顆粒,如塑料碎片、金屬屑等。顆粒對半導體制造過程非常敏感。
油脂和有機物:FOUP內(nèi)可能存在油脂和有機物的污染,這些污染物可以來自FOUP制造材料中的殘留物、操作人員的接觸、環(huán)境空氣中的揮發(fā)物等。
水分:水分是另一個常見的FOUP內(nèi)污染物。它可以來自環(huán)境濕度、沖洗過程中的殘留水、操作人員的接觸等。水分在半導體制造過程中可能引起氧化、腐蝕和電性能問題。
化學物質殘留:FOUP內(nèi)可能存在一些化學物質的殘留,如清洗劑、腐蝕劑、溶劑等。這些殘留物可能對晶圓表面和器件產(chǎn)生不良影響。
靜電電荷:FOUP內(nèi)的靜電電荷也可能成為一種污染物,對晶圓和器件產(chǎn)生影響。靜電電荷可能導致電性能問題、顆粒吸附以及靜電放電等問題。 湖南半自動FOUP清洗機多少錢芯夢制造的設備采用品質材料,使用壽命長,是你的長久伙伴!
對于晶圓加工的各個環(huán)節(jié)而言,清洗工藝都是必不可少的基本工序,隨著芯片制造工藝先進程度的持續(xù)提升,對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高,清洗工序也不斷向精細化發(fā)展,而對清洗設備的需求也在相應增加。
當前,國際制造產(chǎn)業(yè)的競爭日趨激烈,能否在半導體設備產(chǎn)業(yè)上趕超國外,關系著中國信息技術產(chǎn)業(yè)的前途。未來,首年科技將繼續(xù)肩負國產(chǎn)半導體設備崛起的使命,不斷推陳出新,加速研發(fā)新的清洗產(chǎn)品,滿足不同市場需求。與此同時,首年科技也將在晶圓載具、鐵環(huán)、光罩傳輸中加大投入,生產(chǎn)更具競爭優(yōu)勢的設備,助力中國芯片行業(yè)做大做強。
功能配置說明:
1.管路配置:壓力檢測系統(tǒng)、流量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系、漏液檢測系統(tǒng);
2.加熱系統(tǒng):閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)、超溫切斷系統(tǒng),微曲線加熱算法、系統(tǒng)宕機應急閉環(huán)系統(tǒng);
3.真空與N2平衡系統(tǒng):真空度檢測監(jiān)控保壓系統(tǒng)、N2平衡配比凈化系統(tǒng);
4.N2Purge系統(tǒng):溫濕度高速檢測系統(tǒng)、平衡FOUP壓力與溫濕度算法;
5.Robot安全控制系統(tǒng):設置空間安全虛擬圍欄,曲線算法路徑;
6.空FOUP檢測系統(tǒng):FOUP物料感知系統(tǒng),檢測FOUP進料狀態(tài);
7.RFID數(shù)據(jù)系統(tǒng):FOUP實時狀態(tài)檢測。 選擇芯夢設備,讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化!
清洗晶圓盒的方法通常涉及以下幾個步驟:檢查:首先,需要對晶圓盒進行檢查,確保沒有損壞或者異物殘留在盒內(nèi)。去除大顆粒物:使用氣體或者其他工具去除晶圓盒表面的大顆粒物,如灰塵、碎屑等。清洗:將晶圓盒放入清洗設備中,使用超聲波清洗或者噴淋清洗等方法,利用清洗溶液或者去離子水對晶圓盒進行徹底清洗。漂洗:清洗后,需要對晶圓盒進行漂洗,以確保清洗溶液或者去離子水完全去除。干燥:將晶圓盒放入干燥設備中,使用熱風或者氮氣等方法對晶圓盒進行干燥,確保盒內(nèi)干凈并且沒有水分殘留。江蘇芯夢的設備具有多種智能功能,助你輕松應對生產(chǎn)挑戰(zhàn)!吉林全自動花籃清洗機多少錢
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對于晶圓加工的各個環(huán)節(jié)而言,清洗工藝都是必不可少的基本工序,隨著芯片制造工藝先進程度的持續(xù)提升,對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高,清洗工序也不斷向精細化發(fā)展,而對清洗設備的需求也在相應增加。
據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)預測,到2025年,中國在半導體行業(yè)的設備采購將達到345億美元,占全球三分之一,其中FOUP盒清洗設備采購占有很大比例,而目前國內(nèi)品牌在這一領域還幾乎處于空白狀態(tài),主要依靠美系和日系產(chǎn)品,可以說國內(nèi)的FOUP盒清潔設備還是一片藍海。面對巨大的機遇與挑戰(zhàn),江蘇芯夢半導體設備有限公司迎難而上,開發(fā)了擁有自主知識產(chǎn)權的FOUP盒清潔設備,填補了國內(nèi)行業(yè)空白。
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芯夢擁有近12000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地,包括超過3000平米的千級潔凈室和萬級裝配車間,配備有精密的研發(fā)檢測儀器設備。芯夢的創(chuàng)始團隊成員均為半導體裝備領域從業(yè)數(shù)十年的專業(yè)人才,目前芯夢已經(jīng)建立了一支多學科交叉、實力雄厚的技術研發(fā)團隊,目前公司擁有員工總數(shù)290余人,其中技術研發(fā)人員90余人,售后服務人員近40人。我們高度重視知識產(chǎn)權保護,主營產(chǎn)品已獲得數(shù)十項授權專利,包括近20件授權發(fā)明專利,并通過了知識產(chǎn)權管理體系認證。