產(chǎn)品介紹:半導(dǎo)體清洗機(jī)請認(rèn)準(zhǔn)江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,經(jīng)營各類半導(dǎo)體清洗機(jī),為半導(dǎo)體清洗機(jī)專業(yè)供應(yīng)商,其中就包含F(xiàn)OUP清洗機(jī)。FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以實(shí)現(xiàn)無與比的清洗和干燥效果裝載有待清洗的foup在Chambe的中轉(zhuǎn)安裝和固定在封的清洗室內(nèi)36正反轉(zhuǎn)動(dòng)。由D1Wlate的表面張力、機(jī)械力進(jìn)Patcdle清洗離心+熱風(fēng)進(jìn)行供干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。設(shè)備特點(diǎn):五大系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、純水加熱PWH、高壓噴淋HPS(噴頭位置/形狀,可以根據(jù)客戶料盒形態(tài)針對性調(diào)整)、熱風(fēng)烘干HAD(可選配CDA吹干和紅外模式)、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。配備強(qiáng)大的兼容性:4寸~12寸全尺寸兼容,晶圓盒/光罩盒/彈匣/FOUP/FOSB等;30~60分鐘完成1次清洗工藝,快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出;四工位/六工位選擇,依不同產(chǎn)品適配的裝載量;配備可靠的過濾系統(tǒng);EN18822-H14高等級空氣過濾系統(tǒng);0.1um超純水過濾;0.003umCDA過濾。我司設(shè)備操作界面直觀,操作簡便,提高生產(chǎn)效率!上?;ɑ@清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)
產(chǎn)品介紹:FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DI Water的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗, 離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機(jī),Casstte清洗機(jī),FOSB清洗機(jī),離心清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動(dòng)清洗機(jī),離心熱風(fēng)洪干清洗機(jī)。上海花籃清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)我司設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù),助你輕松提升生產(chǎn)效率!
江蘇芯夢/JSXM,成立于2019年8月,位于蘇州吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū),致力于提供襯底的制造、集成電路制造、先進(jìn)封裝及大硅片制造領(lǐng)域濕法制造環(huán)節(jié)工藝設(shè)備的綜合解決方案。
江蘇芯夢高度重視技術(shù)創(chuàng)新和知識產(chǎn)權(quán)保護(hù),并獲得了國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省雙創(chuàng)人才企業(yè)、江蘇省潛在獨(dú)角曾企業(yè)、江蘇省民營科技企業(yè)、江蘇省三星級上云企業(yè)、姑蘇創(chuàng)業(yè)人才企業(yè)、蘇州市企業(yè)工程技術(shù)研究中心、蘇州市瞪羚計(jì)劃入庫企業(yè)、東吳科技人才企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)資質(zhì)。
FOUP清洗機(jī)是一種清洗foup的設(shè)備,用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是半導(dǎo)體制造過程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機(jī)通過自動(dòng)化的清洗過程,去除FOUP內(nèi)外的污染物,確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內(nèi)的油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。清洗機(jī)采用不同的清洗方法和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以適應(yīng)不同類型的污染物,并確保清洗效果。清洗機(jī)具有高效、快速的特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過程,提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差。FOUP清洗機(jī)注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過程中不會對FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置保障操作人員的安全。清洗機(jī)還配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測清洗過程。清洗機(jī)還具備數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對清洗過程進(jìn)行監(jiān)控和分析。它可記錄清洗參數(shù)、時(shí)間和結(jié)果等信息,為質(zhì)量控制選擇芯夢的設(shè)備,讓你的生產(chǎn)過程更加安全、穩(wěn)定!
產(chǎn)品說明
8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺,適用于先進(jìn)封裝制程的particle、有機(jī)、無機(jī)、助焊劑等污染物清洗。可選配二流體、megasonic、超高壓噴洗、RCA 、Hot water及蒸氣等清洗方式,清洗工藝窗口寬,清洗能力強(qiáng),占地面積小,性價(jià)比高等特點(diǎn)。
功能說明
制程均勻度可用 recipe 調(diào)控。
良率優(yōu)于 wet bench type。
單片模式之機(jī)況可控制可追溯。
制程個(gè)別參數(shù)易于調(diào)整。
可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環(huán)境。
潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。
Footprint 較小。
適用于 wafer dry in / dry out制程。
機(jī)臺之安全性優(yōu)于 bench type。
為未來濕式高階設(shè)備之主流機(jī)臺。 我司設(shè)備采用先進(jìn)的傳感技術(shù),確保生產(chǎn)過程準(zhǔn)確無誤!四川半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)商家
芯夢產(chǎn)品是市場上性價(jià)比的選擇,您不會失望的!上?;ɑ@清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)
FOUP內(nèi)的污染物可以來自多個(gè)來源,以下是其中一些常見的來源:過程殘留物:在半導(dǎo)體制造過程中,涉及到各種化學(xué)物質(zhì)、溶劑、清洗劑等。這些物質(zhì)可能在晶圓處理過程中殘留在FOUP內(nèi),成為污染物的來源。顆粒物:在半導(dǎo)體制造環(huán)境中,微小顆粒是一個(gè)主要的污染源。這些顆粒可以來自空氣中的灰塵、工作環(huán)境的雜質(zhì)、設(shè)備的磨損等。這些顆粒物有可能通過FOUP的開口進(jìn)入FOUP內(nèi)部,導(dǎo)致污染。人為操作:在FOUP的處理、維護(hù)和運(yùn)輸過程中,如果操作不當(dāng),例如沒有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等,都會引入污染物。傳輸和存儲過程:FOUP在制造過程中需要經(jīng)過多個(gè)環(huán)節(jié)的傳輸和存儲,包括機(jī)器之間的傳輸、暫存庫等。在這些過程中,如果傳輸設(shè)備或存儲環(huán)境不潔凈,或者FOUP密封不嚴(yán)密,都會導(dǎo)致污染物進(jìn)入FOUP內(nèi)。外部環(huán)境污染:FOUP在制造過程中可能暴露在環(huán)境中,例如在潔凈室內(nèi)。如果潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量不佳,存在空氣中的微塵和顆粒物可能會進(jìn)入FOUP內(nèi)部,并成為污染源。上海花籃清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)
江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司專注于為襯底、集成電路和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域提供先進(jìn)濕法制程裝備及工藝的解決方案。我們的主要產(chǎn)品涵蓋全自動(dòng)晶圓級ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備、全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)、全自動(dòng)單片清洗機(jī)、以及單片電鍍機(jī)等。芯夢始終秉持技術(shù)創(chuàng)新的理念,不斷攻克創(chuàng)新產(chǎn)品技術(shù),踐行在微納領(lǐng)域用先進(jìn)技術(shù)護(hù)家強(qiáng)國的企業(yè)使命。我們引以為傲的是國內(nèi)首臺全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備,該設(shè)備成功打破了國外的壟斷,目前在國內(nèi)市場占有率超過80%,積累了數(shù)十個(gè)在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的成功案例。我們還自主研發(fā)了國內(nèi)首臺全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī),成功打破了國外的壟斷,并已在國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。