江蘇微納加工工藝

微納加工技術的特點：（1）微電子化：采用MEMS工藝，可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感陣列、微執(zhí)行器陣列甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性比較高的微電子機械系統(tǒng)。（2）MEMS技術適合批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在同一硅片上同時可制造出成百上千微型機電裝置或完整的MEMS，批量生產(chǎn)可較大降低生產(chǎn)成本。（3）多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多學科，并集約當今科學發(fā)展的許多成果。微納加工平臺，主要是兩個方面：微納加工、微納檢測。江蘇微納加工工藝

微納加工技術指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設計、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應用技術，涉及領域廣、多學科交叉融合，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列**技術，研制微型傳感器、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng)，具有微型化、批量化、成本低的鮮明特點，微納加工技術對現(xiàn)代的生活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。在Si片上形成具有垂直側壁的高深寬比溝槽結構是制備先進MEMS器件的關鍵工藝，其各向異性刻蝕要求非常嚴格。高深寬比的干法刻蝕技術以其刻蝕速率快、各向異性較強、污染少等優(yōu)點脫穎而出，成為MEMS器件加工的關鍵技術之一。遼寧光電器件微納加工服務價格濕法刻蝕較普遍、也是成本較低的刻蝕方法。

微納制造技術的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題。嚴格意義上來說，科研分為三個領域，一個是基礎研究領域，一個是工程化應用領域，一個是市場推廣領域。在發(fā)達國家的科研機制中。幾乎所有的基礎研究領域都是由國家或機構直接或間接支持的。這種基礎研究較看重的是對于國家、民生或**的長遠意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎研究的機構或者人員。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題。而只是進行基礎、理論的研究。另一方面。工程化應用領域由專門的機構或職能部門負責，這些部門從應用領域、生產(chǎn)領域、制造領域抽調(diào)**、學者及相關專業(yè)人員，對基礎研究的市場應用前景進行分析，并提出可行性建議，末尾由市場或企業(yè)來進行工程化應用研究。末尾市場化推廣的問題自然是企業(yè)來做了。中國的高校和研究機構，做純理念和純基礎的并不多，中國大多是工程性項目研究。其理想模式為高校、研究所、企業(yè)三結合狀態(tài)，各司其職，各負其責。微納技術是繼JT、生物之后。21世紀較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè)。

微納測試與表征技術是微納加工技術的基礎與前提，它包括在微納器件的設計、制造和系統(tǒng)集成過程中，對各種參量進行微米/納米檢測的技術。微米測量主要服務于精密制造和微加工技術，目標是獲得微米級測量精度，或表征微結構的幾何、機械及力學特性；納米測量則主要服務于材料工程和納米科學，特別是納米材料，目標是獲得材料的結構、地貌和成分的信息。在半導體領域人們所關心的與尺寸測量有關的參數(shù)主要包括：特征尺寸或線寬、重合度、薄膜的厚度和表面的糙度等等。未來，微納測試與表征技術正朝著從二維到三維、從表面到內(nèi)部、從靜態(tài)到動態(tài)、從單參量到多參量耦合、從封裝前到封裝后的方向發(fā)展。探索新的測量原理、測試方法和表征技術，發(fā)展微納加工及制造實時在線測試方法和微納器件質(zhì)量快速檢測系統(tǒng)已成為了微納測試與表征的主要發(fā)展趨勢。新一代微納制造系統(tǒng)應滿足的要求：具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn)。

眾所周知，微納米技術是我國貫徹落實“中國制造2025”和“中國創(chuàng)新2030”的重要舉措與中心技術需求，是促進制造業(yè)高級化、綠色化、智能化的重要基礎?；谖矬w微米、納米尺度獨特的物理和化學特性，研制新材料、新工藝、新器件的微納制造技術，已經(jīng)成為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中心技術，必將對21世紀的航空、航天、信息科學、生命科學和健康保健、汽車工業(yè)、仿生機器人、交通、家具生活等領域產(chǎn)生深遠的影響。推進微納制造技術產(chǎn)業(yè)化落地，探討產(chǎn)業(yè)化路徑，遴選優(yōu)良產(chǎn)業(yè)化示范項目。高精度的微細結構具有比較高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低。安徽半導體微納加工實驗室

微納加工設備主要有：光刻、刻蝕、成膜、離子注入、晶圓鍵合等。江蘇微納加工工藝

微納加工技術具有高精度、科技含量高、產(chǎn)品附加值高等特點，能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平，在推動科技進步、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、提升生活品質(zhì)等方面都發(fā)揮著重要作用。廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，是國內(nèi)少數(shù)擁有完整半導體工藝鏈的研究平臺之一，可進行鍍膜、光刻、刻蝕等工藝，加工尺寸覆蓋2-6英寸。微納加工平臺將面向國內(nèi)外科研機構和企業(yè)提供較全的開放服務，對半導體材料與器件的深入研發(fā)給予較全支持，能夠為廣大科研單位和企業(yè)提供***服務。江蘇微納加工工藝