真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結于鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。真空電鍍工藝中,ABS、PC以及TPU等材質(zhì)的使用較為普遍,但如果在注塑成型的過程中素材表面有脫模劑等油污的話,在真空電鍍之后罩UV光油時,表面會出現(xiàn)油點、油窩以及油斑等不良缺陷。真空鍍膜是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術,在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術首先用于生產(chǎn)光學鏡片,如航海望遠鏡鏡片等;后延伸到其他功能薄膜,唱片鍍鋁、裝飾鍍膜和材料表面改性等,如手表外殼鍍仿金色,機械刀具鍍膜,改變加工紅硬性。真空鍍膜有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。各種真空鍍膜技術都需要有一個蒸發(fā)源或靶子。湛江真空鍍膜儀
真空鍍膜的方法:分子束外延:分子束外延(MBE)是一中很特殊的真空鍍膜工藝,是在10-8Pa的超高真空條件下,將薄膜的諸組分元素的分子束流,在嚴格的監(jiān)控之下,直接噴射到襯底表面。MBE的突出優(yōu)點在于能生長極薄的單晶膜層,并且能精確地控制膜厚和組分與摻雜適于制作微波,光電和多層結構器件,從而為制作集成光學和超大規(guī)模集成電路提供了有力手段。利用反應分子束外延法制備TiO2薄膜時,不需要考慮中間的化學反應,又不受質(zhì)量傳輸?shù)挠绊?并且利用開閉擋板(快門)來實現(xiàn)對生長和中斷的瞬時控制,因此膜的組分和摻雜濃度可隨著源的變化而迅速調(diào)整。MBE的襯底溫度Z低,因此有減少自摻雜的優(yōu)點。徐州新型真空鍍膜真空鍍膜是指在真空室中,利用荷能粒子轟擊靶表面,使靶材的原子或分子從表面發(fā)射出來。
電子束蒸發(fā)是基于鎢絲的蒸發(fā)。大約 5 到 10 kV 的電流通過鎢絲(位于沉積區(qū)域外以避免污染)并將其加熱到發(fā)生電子熱離子發(fā)射的點。使用永磁體或電磁體將電子聚焦并導向蒸發(fā)材料(放置在坩堝中)。在電子束撞擊蒸發(fā)丸表面的過程中,其動能轉化為熱量,釋放出高能量(每平方英寸數(shù)百萬瓦以上)。因此,容納蒸發(fā)材料的爐床必須水冷以避免熔化。電子束蒸發(fā)設備結構簡單,成本低廉,而且可以蒸發(fā)高熔點材料,在蒸鍍合金時可以實現(xiàn)快速蒸發(fā),避免合金的分餾,其鍍膜質(zhì)量也可以達到較高水平,可以廣泛應用于激光器腔面鍍膜以及玻璃等各種光學材料表面鍍膜,是一種可易于實現(xiàn)大批量生產(chǎn)的成熟鍍膜技術。
真空鍍膜:離子鍍特點:離子鍍是物理的氣相沉積方法中應用較普遍的一種鍍膜工藝。離子鍍的基本特點是采用某種方法(如電子束蒸發(fā)磁控濺射,或多弧蒸發(fā)離化等)使中性粒子電離成離子和電子,在基體上必須施加負偏壓,從而使離子對基體產(chǎn)生轟擊,適當降低負偏壓后使離子進而沉積于基體成膜,適用于高速鋼工具,熱鍛模等材料的表面處理過程。離子鍍的優(yōu)點如下:膜層和基體結合力強,反應溫度低。膜層均勻,致密。在負偏壓作用下繞鍍性好。無污染。多種基體材料均適合于離子鍍。真空鍍膜中真空濺射法是物理的氣相沉積法中的后起之秀。
真空鍍膜:電阻加熱蒸發(fā)法:電阻加熱蒸發(fā)法就是采用鎢、鉬等高熔點金屬,做成適當形狀的蒸發(fā)源,其上裝入待蒸發(fā)材料,讓電流通過,對蒸發(fā)材料進行直接加熱蒸發(fā),或者把待蒸發(fā)材料放入坩鍋中進行間接加熱蒸發(fā)。利用電阻加熱器加熱蒸發(fā)的鍍膜設備構造簡單、造價便宜、使用可靠,可用于熔點不太高的材料的蒸發(fā)鍍膜,尤其適用于對膜層質(zhì)量要求不太高的大批量的生產(chǎn)中。目前在鍍鋁制品的生產(chǎn)中仍然大量使用著電阻加熱蒸發(fā)的工藝。電阻加熱方式的缺點是:加熱所能達到的較高溫度有限,加熱器的壽命也較短。近年來,為了提高加熱器的壽命,國內(nèi)外已采用壽命較長的氮化硼合成的導電陶瓷材料作為加熱器。真空鍍膜機電阻式蒸發(fā)鍍分為預熱段、預溶段、線性蒸發(fā)段三個步驟。遵義真空鍍膜設備
在真空鍍膜機運轉正常情況下,開動真空鍍膜機時,必須先開水管,工作中應隨時注意水壓。湛江真空鍍膜儀
PECVD系統(tǒng)的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣,這些鋼瓶被放置在有許多安全保護裝置的氣柜中,通過氣柜上的控制面板、管道輸送到PECVD的工藝腔體中。在淀積時,反應氣體的多少會影響淀積的速率及其均勻性等,因此需要嚴格控制氣體流量,通常采用質(zhì)量流量計來實現(xiàn)精確控制。PECVD反應過程中,反應氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至襯底表面,在射頻源激發(fā)的電場作用下,反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。分解物發(fā)生化學反應,生成形成膜的初始成分和副反應物,這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面,生成固態(tài)膜的晶核,晶核逐漸生長成島狀物,島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中,各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離,在真空泵的作用下從出口排出。湛江真空鍍膜儀
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