簡化高真空機組,取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力,進一步縮短抽氣時間,由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短,所以前級泵的使用時間也很短,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非?,F(xiàn)實的。這就使規(guī)?;瘧?yīng)用的真空機組得到的簡化。在某些中真空應(yīng)用中,需要進入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn),而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa,所以中真空應(yīng)用也常用三級機組。臥式往復(fù)真空泵一般為有油式,立式多為無油式。環(huán)保真空泵定制廠家
微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定,完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時,有的高到數(shù)千小時。特別注意,這項參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的,是比較惡劣的工況,如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行,該數(shù)值會高一些,高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術(shù)實力,從產(chǎn)品外觀上可以看出一些,如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵,視電路抗干擾能力而定,可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。微型真空泵訂做商家高真空一側(cè)的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。
低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整的系列,并研究開發(fā)出各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。
為了使國產(chǎn)真空滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。折疊直聯(lián)旋片泵,隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價格又遠比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠,同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能,同時在中真空范圍也有較強的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高,所以可使前級泵易于處于高流量狀態(tài);而分子增壓泵吸入壓力高,減緩了前級泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力,保證了設(shè)備的使用效率。真空泵抽速的抽氣量一般單位用L/S和m3/h來表示。螺桿真空泵定制廠家
由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。環(huán)保真空泵定制廠家
由于水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時針旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個小腔。環(huán)保真空泵定制廠家
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