干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,目前通用的是直連電機,用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。VP0925A真空泵供應公司
爪形真空泵為多級串聯(lián)結構,每級泵均應嚴格控制端面間隙,即四級泵需嚴格控制8個端面間隙,泵在運行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障,另外爪式泵的多級串聯(lián)的結構特性決定了其裝配的復雜性,一般人員很難達到裝配要求;因爪形真空泵為多級串聯(lián)結構,排氣通道復雜,在抽除可凝性氣體時(例如:水蒸汽,有機溶劑氣體等),在泵腔內(nèi)壓縮時會產(chǎn)生較多的液體,這部分液體進入泵的端面造成泵的負載明顯變大,四級爪形真空泵有8個端面,不宜抽除大量可凝性氣體?;ふ婵毡枚ㄖ茝S家水環(huán)真空泵用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。
擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內(nèi)保持不變,但在壓強較高或很低時,抽速下降很快。當泵入口壓強很低時,氣體從前級通過射流的反擴散會增加,同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時,大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰減較大,增大了前級的反流,抽速降低;油擴散泵的極限壓強與前級側氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關,當泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時,泵的入口壓強不受出口壓強的影響,氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態(tài),與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結構有關。
便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同,都是電機的圓周運動,通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復式運動,從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮、拉伸形成真空(負壓),在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差,在壓力差的作用下,將氣體壓(吸)入泵腔,再從排氣口排出。正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差,同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油,不會污染工作介質(zhì),而且具有體積小巧、噪音低、免維護,可以連續(xù)24小時運轉(zhuǎn)等優(yōu)點,冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規(guī)羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵,常規(guī)羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa,所以常規(guī)羅茨泵必須帶前級泵預抽,不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因為增加了熱量平衡裝置可以直接排大氣,氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。高真空一側的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側的真空泵是直排大氣的。小型真空泵制造商
真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可降低驅(qū)動功率。VP0925A真空泵供應公司
在真空泵選型前,我們必須弄清楚幾個基礎概念:真空,理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。(現(xiàn)實中是不存在真正的真空的)通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓(101325 Pa)的都稱之為真空狀態(tài)。真空度表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用壓力值來表示。實際應用中,真空度,通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值,從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強,業(yè)界也稱為極限相對壓強,即: 真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa,水環(huán)式真空泵極限壓強3300Pa;旋片式真空泵極限壓強約10Pa)。VP0925A真空泵供應公司