半導(dǎo)體測試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié),其測試設(shè)備包括測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)。其中,測試機(jī)是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備,分選機(jī)和探針臺(tái)是將芯片的引腳與測試機(jī)的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備,與測試機(jī)共同實(shí)現(xiàn)批量自動(dòng)化測試。受益于國內(nèi)封裝測試業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)張,半導(dǎo)體測試設(shè)備市場快速發(fā)展。作為半導(dǎo)體封測行業(yè)三大設(shè)備之一,探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試,研發(fā)難度大,國產(chǎn)化率低,進(jìn)口依賴度高,它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損,使用壽命長。貴州高溫探針臺(tái)生產(chǎn)
探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級(jí)別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。福建溫控探針臺(tái)配件廠家探針卡使用一段時(shí)間后,由于探針加工及使用過程中的微小差異導(dǎo)致所有探針不能在同一平面上會(huì)造成。
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺(tái)使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩R坏┕潭?,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
手動(dòng)探針臺(tái):普遍應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測試、分析。上海勤確科技有限公司擁有一批年輕、專業(yè)的員工。
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命,損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報(bào)廢。由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗。在探針臺(tái)上裝上打點(diǎn)器,打點(diǎn)器根據(jù)系統(tǒng)的信號(hào)來判斷是否給芯片打點(diǎn)標(biāo)記。山西探針臺(tái)供應(yīng)
某些針尖位置高的扎不上AL層,使測試時(shí)這些針上電路不通。貴州高溫探針臺(tái)生產(chǎn)
探針臺(tái)是用于檢測每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào),保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。下面我們來了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測試的一些相關(guān)問題,首先為什么需要進(jìn)行在片測試?因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測試,在片進(jìn)行自動(dòng)化測試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺(tái),校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,電源偏置等。貴州高溫探針臺(tái)生產(chǎn)