探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開(kāi),然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。上海勤確科技有限公司優(yōu)良的服務(wù)隊(duì)伍、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)及強(qiáng)大的合作伙伴。重慶溫控探針臺(tái)公司
平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng),方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇,輕擦定子表面,然后用專門工具撬起動(dòng)子,方法同前,輕擦動(dòng)子表面,動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔,它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。江蘇手動(dòng)探針臺(tái)由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。
晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),通用性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330 mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150 mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái):詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng),兼容性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7 T;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程±150 mm,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,小到調(diào)節(jié)精度5’。
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2020年及2021年,全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)?;?qū)⒎謩e達(dá)到52.2億美元及56.1億美元。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,多個(gè)晶圓廠及實(shí)驗(yàn)室的建立,國(guó)內(nèi)探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長(zhǎng)到15.69億元。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測(cè)試裝備,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測(cè)企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過(guò)檢測(cè),探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的。福建芯片探針臺(tái)供應(yīng)商
探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)。重慶溫控探針臺(tái)公司
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。重慶溫控探針臺(tái)公司