光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析 對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計,應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗,對于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機(jī)+FFU??傊?,具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。 凈化工程中空氣凈化處理方案 ●凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。 ●空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;凈化工程的實施應(yīng)遵循可持續(xù)發(fā)展的原則。上海藥廠凈化工程廠家
對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求; (1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。 (2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。 對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低風(fēng)速的可行性。 杭州空調(diào)凈化工程凈化工程中,照明系統(tǒng)也需滿足無塵室的特殊要求。
往往須耗時相當(dāng)長一段時間。層流式(Laminar)等級名稱等級限值μmμmμmμm5μm容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位國際單位英制單位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。亂流式缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。復(fù)合式。
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口 這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。 優(yōu)點: A.不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.造價比較低。如此類無塵車間初投資約需要40萬; D.送風(fēng)均勻度好。 缺點: A.溫濕度控制較差; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.FFU的維修頻率高。 4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點 A、無塵車間 潔凈度: LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 凈化工程中,空氣流速的控制對減少污染至關(guān)重要。
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在 側(cè)污染較嚴(yán)重。 優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。 凈化工程的實施需配備專業(yè)的工程技術(shù)人員。上海車間凈化工程造價
凈化工程的維護(hù)是確保長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。上海藥廠凈化工程廠家
只有空氣過濾系統(tǒng)解決方案和配套的空氣過濾器才會給您帶來安全可靠的保障。作為空氣潔凈市場的供應(yīng)商,提供給客戶的是一種長期的安全保障及技術(shù)支持,為客戶提供專業(yè)化的建議、詳盡的產(chǎn)品說明、運行周期成本費用評估和各種完善的服務(wù),從而給予客戶的利益保障。三:我公司各類證書齊全,技術(shù)力量雄厚,檢測設(shè)備精良,萬級凈化工程,為確保凈化工程,各類凈化設(shè)備,凈化產(chǎn)品的質(zhì)量奠定了堅實的基礎(chǔ),我司生產(chǎn)的產(chǎn)品嚴(yán)格按符合美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209E要求,萊蕪凈化工程,執(zhí)行GMP規(guī)格要求上海藥廠凈化工程廠家