蚌埠半導(dǎo)體凈化工程

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-11

    凈化工程等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)編輯經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國(guó)家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級(jí),例如美國(guó)、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國(guó)于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件。該規(guī)范在重新修訂中。GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級(jí)等級(jí)每立方米(升)空氣中≥μm塵粒數(shù)每立方米(升)空氣中≥5μm塵粒數(shù)100≤35*100()1000≤35*1000(35)≤250()10000≤35*10000(350)≤2500()100000≤35*100000(500)≤25000(25)標(biāo)準(zhǔn)FS209E中的潔凈等級(jí)凈化工程行業(yè)應(yīng)用編輯凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),(21世紀(jì))在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求,等級(jí)差別也較大。級(jí)別高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng),基本是屬于1級(jí),屬于特殊領(lǐng)域,面積相對(duì)較小。凈化車(chē)間另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車(chē)間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。隨著電子元器件向微小化方向發(fā)展,液晶面板已經(jīng)升級(jí)至第八代。在凈化工程中,潔凈室的門(mén)窗設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮密封性和氣密性,防止外界空氣進(jìn)入。蚌埠半導(dǎo)體凈化工程

    人員的活動(dòng)也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中。由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周?chē)闪鲄^(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因?yàn)轱L(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時(shí)換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩停虼瞬贿m合用來(lái)表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)。凈化工程控制編輯潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。徐州凈化工程裝修食品加工車(chē)間采用凈化工程,有效避免二次污染,保障食品安全。

    食品生產(chǎn)環(huán)境包括可能與食品接觸的設(shè)備(工器具)、人員和空氣等,其安全生產(chǎn)控制的目的是為了防止食品在不衛(wèi)生的條件下加工。食品生產(chǎn)用潔凈間(區(qū))的污染控制是食品生產(chǎn)環(huán)境控制的關(guān)鍵環(huán)節(jié),其控制對(duì)象包括塵粒和微生物??諝庵械奈⑸餆o(wú)處不在,并常附著在塵埃粒子上,隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播。空氣中的塵埃粒子越多,細(xì)菌附著在塵埃粒子上的機(jī)會(huì)越大,傳播的機(jī)會(huì)也增加。同樣,病毒也會(huì)附著在塵粒上并進(jìn)行傳播。因此,控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。各種微生物的大小可如圖1-1所示。大部分微生物在于μm。病毒是小的微生物,大約在μm以上,其次是立克次氏體。細(xì)菌種類(lèi)很多,多數(shù)在空氣中以群體形式存在。常見(jiàn)的細(xì)菌大小為~μm,為~μm,采用高效空氣過(guò)濾器(μm,過(guò)濾效率≥)基本上可將它們除去。

    3.對(duì)綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意。稍困難,困難,不可能對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來(lái)評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過(guò)該曲線。后來(lái)了解到刷A等級(jí)來(lái)計(jì)量噪聲與噪聲的語(yǔ)音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適,可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式:(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。(2)局部照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國(guó)外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國(guó)關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的要求是.人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時(shí),500x也是允許的。對(duì)于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車(chē)間,其照度一般為(25—501x),用天然光時(shí)可允許更高的照度,因而對(duì)工作是有利的。凈化工程在醫(yī)藥行業(yè)中發(fā)揮著重要作用,為藥品生產(chǎn)提供無(wú)菌環(huán)境。

    車(chē)間凈化工程編輯鎖定討論亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。中文名車(chē)間凈化工程又名無(wú)塵室作用除塵應(yīng)用工廠潔凈目錄1工程結(jié)束2潔凈室控管3車(chē)間工程設(shè)計(jì)4潔凈度等級(jí)車(chē)間凈化工程工程結(jié)束編輯亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。車(chē)間凈化工程潔凈室控管編輯(1)能除去空氣中飄游之微塵粒子。(2)能防止微塵粒子之產(chǎn)生。(3)溫度和濕度之控制。(4)壓力之調(diào)節(jié)。(5)有害氣體之排除。(6)結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。(7)靜電之防制。(8)電磁干擾預(yù)防。(9)安全因素之考慮。(10)節(jié)能之考量。潔凈室構(gòu)成:潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿(Ceilingrod)、鋼梁。物理性?xún)艋突瘜W(xué)性?xún)艋莾艋こ痰膬纱蠓诸?lèi),各有其獨(dú)特的應(yīng)用場(chǎng)景。浙江凈化工程安裝

電纜橋架安裝牢固、接地完整,是凈化工程電路敷設(shè)的關(guān)鍵要求。蚌埠半導(dǎo)體凈化工程

    已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。光學(xué)微電子凈化工程一般包括:1、潔凈生產(chǎn)區(qū)2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息)4、設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)材料1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。光學(xué)微電子凈化工程解決方案:凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中,應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程。蚌埠半導(dǎo)體凈化工程