高效HJT電池整線裝備,PVD優(yōu)點(diǎn)沉積速度快、基材溫升低;所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好;濺射工藝可重復(fù)性好,精確控制厚度;膜層粒子的散射能力強(qiáng),繞鍍性好;不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合,同時(shí)濺射于基材上;缺點(diǎn):常規(guī)平面磁控濺射技術(shù)靶材利用率不高,一般低于40%;在輝光放電中進(jìn)行,金屬離化率較低。反應(yīng)等離子體沉,RPD優(yōu)點(diǎn):對(duì)襯底的轟擊損傷??;鍍層附著性能好,膜層不易脫落;源材料利用率高,沉積速率高;易于化合物膜層的形成,增加活性;鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點(diǎn):薄膜中的缺陷密度較高,薄膜與基片的過渡區(qū)較寬,應(yīng)用中受到限制(特別是電子器件和IC);薄膜中含有氣體量較高。HJT電池在未來的能源結(jié)構(gòu)中具有重要地位,有望成為主流的能源轉(zhuǎn)換技術(shù)之一。西安單晶硅HJT設(shè)備供應(yīng)商
HJT電池整線技術(shù)路線工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層,并且在表面進(jìn)行制絨,以形成絨面結(jié)構(gòu)達(dá)到陷光效果,減少反射損失;2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H,作為鈍化層,然后再沉積摻雜層;3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進(jìn)行TCO薄膜沉積;4.柵線電極。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行柵線電極制作;5.烘烤(退火)。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行正面柵線電極制作,然后通過低溫?zé)Y(jié)形成良好的接觸;6.光注入。7.電池測(cè)試及分選。浙江高效HJTPVDHJT電池的高效性使其在太陽能發(fā)電領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實(shí)現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化,該解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝,提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能,并極大降低了生產(chǎn)成本。釜川以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面的有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。
HJT電池所有制程的加工溫度均低于250,避免了生產(chǎn)效率低而成本高的高溫?cái)U(kuò)散制結(jié)的過程,而且低溫工藝使得a-Si薄膜的光學(xué)帶隙、沉積速率、吸收系數(shù)以及氫含量得到較精確的控制,也可避免因高溫導(dǎo)致的熱應(yīng)力等不良影響。釜川(無錫)智能科技有限公司,以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。HJT電池具有高效率、低成本、長壽命等優(yōu)勢(shì),是未來光伏產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。
高效HJT電池為對(duì)稱的雙面結(jié)構(gòu),主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層、雙面的透明導(dǎo)電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中,本征非晶硅層起到表面鈍化作用,P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層,N 型摻雜非晶硅層起到背場(chǎng)作用。釜川以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。 HJT裝備與材料:包含制絨清洗設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、金屬化設(shè)備等。 電鍍銅設(shè)備:采用金屬銅完全代替銀漿作為柵線電極,具備低成本、高效率等優(yōu)勢(shì)。光伏HJT電池PECVD是制備PIN層的主流設(shè)備,其結(jié)構(gòu)和工藝機(jī)理復(fù)雜,影響因素眾多,需要專業(yè)公司制備。廣東自動(dòng)化HJT材料
HJT電池是高效晶體硅電池的一種,具有高效率、低衰減、耐高溫等優(yōu)點(diǎn)。西安單晶硅HJT設(shè)備供應(yīng)商
HJT電池生產(chǎn)設(shè)備,制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層;2利用KOH腐蝕液對(duì)n型硅片進(jìn)行各項(xiàng)異性腐蝕,將Si(100)晶面腐蝕為Si(111)晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)(“金字塔結(jié)構(gòu)”),即在硅片表面形成絨面,可將硅片表面反射率降低至12.5%以下,從而產(chǎn)生更多的光生載流子;3形成潔凈硅片表面,由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分,避免不潔凈引進(jìn)的缺陷和雜質(zhì)而帶來的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。堿溶液濃度較低時(shí),單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯,速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF);因此改變堿溶液的濃度及溫度,可以有效地改變AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結(jié)構(gòu)的減反射絨面;在制絨工序,絨面大小為主要指標(biāo),一般可通過添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時(shí)間等來進(jìn)行調(diào)節(jié)控制。西安單晶硅HJT設(shè)備供應(yīng)商