干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設(shè)備,日本在螺桿壓縮機基礎(chǔ)上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線,并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線,并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進入批量化生產(chǎn),在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵,它是一種全新的設(shè)計,是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,有內(nèi)壓縮過程,泵腔內(nèi)無軸承和密封,極大降低了故障率,泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門,因而耐粉塵和焦油能力強,此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形,螺桿壽命長。上海德邁克,專注真空泵研發(fā),推動產(chǎn)業(yè)升級。無油真空泵代理商
分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。真空罐供貨價格鋰電池生產(chǎn),干式真空泵關(guān)鍵,無油環(huán)境,提升電池性能。
真空泵特點:通常情況下在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可極大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
水真空環(huán)泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優(yōu)點:水真空環(huán)泵結(jié)構(gòu)簡單,制造精度要求不高,容易加工。另外它結(jié)構(gòu)緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。而且壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面,無須對泵內(nèi)進行潤滑,而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡單,維修方便。提供光伏組件耐用的干泵。
真空泵油的抗乳化性:真空泵在運轉(zhuǎn)過程中,系統(tǒng)內(nèi)的水分與冷氣領(lǐng)會排入泵油中,假如真空泵油的抗乳化性不好,它將與混入的水構(gòu)成乳化液,使水不易從循環(huán)油箱的底部放出,從而可能形成真空度降落和光滑不良。因而抗乳化性是工業(yè)光滑油的一項很重要的理化性能。特別在醫(yī)藥、食品、陶瓷等工業(yè)運用真空枯燥過程中,泵油的抗乳化性能更至關(guān)重要??谷榛院玫谋糜陀退畡e離才能強,水蒸汽和冷凝氣體經(jīng)過開啟氣鎮(zhèn)閥,會排出局部水蒸汽。另外,低粘度泵油的抗乳化才能比高粘度泵油要好。真空泵節(jié)能先鋒,就選德邁克。螺桿真空泵批發(fā)價
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粗真空系的真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。普遍用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單,使用方便、工作可靠、維護方便的特點。主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被普遍應(yīng)用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。普遍應(yīng)用于化工、食品、建材等部門,特別是在真空結(jié)晶、干燥、過濾、蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。無油真空泵代理商