雙極真空泵銷(xiāo)售

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-01-01

擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋孩?自?xún)艋瘮U(kuò)散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專(zhuān)門(mén)的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵② 分餾式擴(kuò)散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。雙極真空泵銷(xiāo)售

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分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。雙級(jí)旋片真空泵采購(gòu)臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。

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干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設(shè)備,日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線(xiàn),并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線(xiàn),并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國(guó)企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn),在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵,它是一種全新的設(shè)計(jì),是專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問(wèn)題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,有內(nèi)壓縮過(guò)程,泵腔內(nèi)無(wú)軸承和密封,極大降低了故障率,泵腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部閥門(mén),因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng),此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形,螺桿壽命長(zhǎng)。

在水環(huán)真空泵中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外。羅茨軸承向軸承體潤(rùn)滑油,觀(guān)察油位應(yīng)在油中心線(xiàn),應(yīng)及時(shí)更換或添加潤(rùn)滑油。

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真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會(huì)與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng),腐蝕泵內(nèi)零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕,所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分,以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在比較低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。真空泵腐蝕的形態(tài)可分為詳細(xì)(均勻)腐蝕和局部腐蝕兩大類(lèi),前者較均勻的發(fā)生在真空泵全部表面,后者只是發(fā)生在局部,如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕等。采用高分子復(fù)合材料對(duì)真空泵實(shí)施表面有機(jī)涂層防腐,其具有良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能,與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補(bǔ)相比,具有施工簡(jiǎn)便、成本低、安全性能,修復(fù)效果好的特點(diǎn)。真空泵壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;雙級(jí)羅茨真空泵銷(xiāo)售費(fèi)用

比較大允許水蒸氣入口壓強(qiáng):比較大允許水蒸氣入口壓強(qiáng) 單位是Pa。雙極真空泵銷(xiāo)售

真空泵油的抗泡性:真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,由于有空氣存在,常會(huì)產(chǎn)生泡沫,特別是當(dāng)油品中含有具有外表活性的添加劑時(shí),則更容易產(chǎn)生泡沫,而且泡沫還不易消逝。光滑油運(yùn)用中產(chǎn)生泡沫會(huì)使油膜毀壞,不只使摩擦面發(fā)作燒結(jié)或增加磨損,并促進(jìn)光滑油氧化蛻變。運(yùn)轉(zhuǎn)中的真空系統(tǒng)內(nèi)氣領(lǐng)會(huì)經(jīng)過(guò)密封的真空泵油層不時(shí)排出,排出的氣領(lǐng)會(huì)在油層外表產(chǎn)生大量的氣泡,并從泵的排氣孔中溢出,形成油品損失和設(shè)備污染。加防抗泡劑的泵油,在抗泡效果上有明顯進(jìn)步。螺桿真空泵它應(yīng)用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精密動(dòng)均衡校正,由軸承支撐,裝置在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因而泵工作時(shí),互相之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需光滑油,因而,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)所,極限真空更高,耗費(fèi)功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。雙極真空泵銷(xiāo)售