河北精密儀器校準激光干涉儀設(shè)備廠家

激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一，它以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。未來，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統(tǒng)、光學系統(tǒng)等方面進行發(fā)展，從測量數(shù)據(jù)的可靠性、精確性，以及測量儀器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。河北精密儀器校準激光干涉儀設(shè)備廠家

激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。以我司生產(chǎn)的型號XL-80激光干涉儀為例，其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量比較長可以達到80m，比較高線性測長分辨率0.001μm，比較高測量速度240m/min。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、Zgao測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。南京激光干涉儀多少錢激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。

激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵，分辨率可達納米級;采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

激光干涉儀的應(yīng)用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光波長非常穩(wěn)定，可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。

激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應(yīng)用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對Z終的測量精度有著重要的影響?？偨Y(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量?？蒲虚_發(fā)激光干涉儀加工生產(chǎn)

激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。河北精密儀器校準激光干涉儀設(shè)備廠家

現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類關(guān)于光學的知識的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質(zhì)：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應(yīng)用于各領(lǐng)域，已經(jīng)成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中比較成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到普遍的應(yīng)用。河北精密儀器校準激光干涉儀設(shè)備廠家

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