高精度激光干涉儀設(shè)計

來源: 發(fā)布時間:2020-12-19

多功能激光干涉儀:主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號,如測量光強和電壓隨時間變化的波形。因為它的響應(yīng)速度極快,是微微秒(Ps)量級。所以,它非常適用于超快變電場和超短光脈沖信號變化的測量。已有技術(shù)主要有兩個方面。一是普通干涉儀,如一九八七年機械工業(yè)出版社出版的“剪切干涉儀及其應(yīng)用”一書中描述的干涉儀,可用來做多樣的測量工作,但它既不能像示波器一樣示波顯示電信號的波形,也不能示波顯示光信號、磁信號的波形。雖然能示波顯示電信號和光信號的波形,但不能示波顯示其他如磁信號的波形等。而且,這些測量系統(tǒng)內(nèi)不含有干涉系統(tǒng)。激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量。高精度激光干涉儀設(shè)計

高精度激光干涉儀設(shè)計,激光干涉儀

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。杭州激光干涉儀價格激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一。

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激光干涉儀的使用注意事項:激光干涉儀的使用注意事項激光干涉儀必須定人保管,機加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀必須定人保管,機加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動,安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性,整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發(fā)生。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達到改變光路,方便測量的目的。

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:研制低高度云臺支架。部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,那么測量Z軸時,如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面,則肯定會因為三角架本身的高度,損失測量范圍。磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測量時,往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。激光干涉儀有哪些種類?

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激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測時,對設(shè)備產(chǎn)生懷疑。因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動時存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運動軸偏置距離越遠,引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息,基于Edlen公式計算空氣折射率,以此對激光波長進行補償。激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。滄州精密儀器激光干涉儀

激光干涉儀的測量精度高。高精度激光干涉儀設(shè)計

激光干涉儀初步調(diào)整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個過程,往往幾次即可達到準直要求。高精度激光干涉儀設(shè)計

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