位移傳感器激光干涉儀

現(xiàn)代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀要設置專庫存放。位移傳感器激光干涉儀

多功能激光干涉儀，適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發(fā)射光源、雙脈沖形成裝置、擴束器、微分時間延遲器、聚焦系統(tǒng)、干涉系統(tǒng)、轉換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統(tǒng)、被測信號接口、同步裝置和補償元件。具有時間分辨率精度高、響應速度快、用途廣，可以實時測量的優(yōu)點。多功能激光干涉儀由十一部分構成：超短脈沖發(fā)射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統(tǒng)5、干涉系統(tǒng)6、轉換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統(tǒng)8、被測信號接口9、同步裝置10和補償元件11。其中，轉換元件7在干涉系統(tǒng)6的一個臂的光路A中，補償元件11是在干涉系統(tǒng)6的另一個臂的光路B中。激光干涉儀定購激光干涉儀有數(shù)控機床動態(tài)性能檢測的應用。

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關。激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。

激光干涉儀在數(shù)控機床檢定中的應用：隨著數(shù)控機床應用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中激光干涉儀應用比較多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)，位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。

激光干涉儀的應用：數(shù)控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設備等在線位置測量。專業(yè)激光干涉儀供應廠家

可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析。位移傳感器激光干涉儀

激光干涉儀的應用：數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光波長非常穩(wěn)定，可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。位移傳感器激光干涉儀

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