激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時(shí)相互迭加,在某些區(qū)域始終加強(qiáng),在另一些區(qū)域則始終削弱,形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布的現(xiàn)象。產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉。由兩個(gè)普通獨(dú)特光源發(fā)出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。若光的振幅相等:相位角相同時(shí),復(fù)合光強(qiáng)為原先的2倍,產(chǎn)生明條紋。當(dāng)相位角相差180o(半個(gè)波長)時(shí),復(fù)合光強(qiáng)為0,產(chǎn)生暗條紋。激光干涉儀具有較高的精度和效率。小型激光干涉儀品質(zhì)保障
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時(shí),混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時(shí)穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。小型激光干涉儀品質(zhì)保障激光干涉儀可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析。
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí),激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。
激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:反射鏡、角錐棱角誤差。
激光干涉儀使用注意事項(xiàng):1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動儀器時(shí),為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí),應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。激光干涉儀可以進(jìn)導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。小型激光干涉儀品質(zhì)保障
激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束。小型激光干涉儀品質(zhì)保障
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然,在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀的使用注意事項(xiàng):激光干涉儀必須定人保管,機(jī)加技術(shù)組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。小型激光干涉儀品質(zhì)保障