浙江雷尼紹XL-80激光干涉儀

激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應(yīng)用呢?可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能?？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、平行度和垂直度等測(cè)量工作。浙江雷尼紹XL-80激光干涉儀

激光干涉儀引力波探測(cè)器的基本光學(xué)結(jié)構(gòu)：激光干涉儀引力波探測(cè)器是一種大型綜合性實(shí)驗(yàn)裝置,由光學(xué)部分、機(jī)械部分、信號(hào)轉(zhuǎn)換部分和控制部分等組成。本質(zhì)上講,它應(yīng)該是一臺(tái)超大型高精度的光學(xué)儀器,其光學(xué)部分的主體。激光器是激光干涉儀引力波探測(cè)器的光源[2],用于引力波探測(cè)的干涉儀對(duì)光源有如下要求:(1)高輸出功率和好的功率穩(wěn)定性：激光功率漲落產(chǎn)生的霰彈噪聲是影響激光干涉儀引力波探測(cè)器靈敏度的主要噪聲之一。(2)單一的振動(dòng)頻率和高的頻率穩(wěn)定性：為使激光干涉儀引力波探測(cè)器能夠穩(wěn)定地鎖定在需要的工作點(diǎn)上,要求激光器輸出的光束具有單一的振動(dòng)頻率。激光頻率漲落引起的噪聲是影響干涉儀靈敏度嚴(yán)重的噪聲之一,我們稱(chēng)此噪聲為干涉儀的頻率噪聲,必須盡量減小。自動(dòng)化激光干涉儀誠(chéng)信合作激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)只含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf）的測(cè)量光束。

激光干涉儀使用技巧；Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法：用激光干涉儀進(jìn)行線性測(cè)量時(shí)，Z軸測(cè)量時(shí)激光光路的準(zhǔn)直相對(duì)X、Y軸準(zhǔn)直來(lái)說(shuō)，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長(zhǎng)的情況下，要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測(cè)器的強(qiáng)度滿足測(cè)量對(duì)對(duì)光強(qiáng)的要求，準(zhǔn)直激光光路往往需要很長(zhǎng)時(shí)間。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對(duì)Z軸放置分光鏡，左右移開(kāi)Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快。

激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì)。江蘇數(shù)控設(shè)備定位精度激光干涉儀安裝

影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。浙江雷尼紹XL-80激光干涉儀

Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對(duì)Z軸放置分光鏡，左右移開(kāi)Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。浙江雷尼紹XL-80激光干涉儀