鄭州儀器校準(zhǔn)激光干涉儀采購(gòu)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-07

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、回轉(zhuǎn)精度測(cè)量、平行度測(cè)量和小角度測(cè)量。激光干涉儀的使用注意事項(xiàng):各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。鄭州儀器校準(zhǔn)激光干涉儀采購(gòu)

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激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。濟(jì)南數(shù)控軸直線度激光干涉儀激光干涉儀維護(hù)保管時(shí)需要注意哪些方面?

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激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)。利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件,可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析(FFT),滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性(低速爬行)分析等。雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度,而且還能通過(guò)RS232接口,自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。激光波長(zhǎng)非常穩(wěn)定,可以滿足精密測(cè)量的要求。激光具有干涉特性。

激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。為通過(guò)受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長(zhǎng)輸出。激光具有三個(gè)重要特性:激光波長(zhǎng)非常穩(wěn)定,可以滿足精密測(cè)量的要求。激光波長(zhǎng)非常短,可以用于高精度測(cè)量。激光具有干涉特性。激光干涉儀在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。

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為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測(cè)量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時(shí)由于空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑等會(huì)使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號(hào)交流信號(hào),因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō),可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差。濟(jì)南數(shù)控軸直線度激光干涉儀

激光干涉儀可以進(jìn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析。鄭州儀器校準(zhǔn)激光干涉儀采購(gòu)

利用激光干涉儀的線性測(cè)長(zhǎng)功能,不但能夠測(cè)量出數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對(duì)精度進(jìn)行補(bǔ)償。還能幫助我們利用檢測(cè)圖形和數(shù)據(jù),來(lái)分析數(shù)控機(jī)床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法,從而迅速恢復(fù)機(jī)床,縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間,提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。激光干涉儀是根據(jù)光學(xué)干涉基本原理設(shè)計(jì)而成的。具體到API激光干涉儀,即激光器射出單一頻率波,當(dāng)此光束抵達(dá)偏振分光鏡時(shí),會(huì)被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束),在這兩道光射向其反光鏡,然后透過(guò)分光鏡反射回去,在激光頭內(nèi)的探測(cè)器形成一道干涉光束,若光程差沒有任何變化,探測(cè)器會(huì)在每一次光程改變時(shí),在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極找到變動(dòng)的信號(hào)。計(jì)算處理系統(tǒng)可以通過(guò)此變化來(lái)測(cè)量?jī)晒獬涕g差異變化。鄭州儀器校準(zhǔn)激光干涉儀采購(gòu)