系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個系統(tǒng)由上位機、激光位移傳感器和平臺運動控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測頭和監(jiān)視器組成。平臺運動控制系統(tǒng)主要由平移臺運動控制器、驅(qū)動器、電源和二維電動平移臺組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理。參考距離根據(jù)被測對象物的變化可測量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達到滿量程的0.3％，即精度達到6μm。激光位移傳感器在汽車行業(yè)的應(yīng)用案例。紹興激光位移傳感器廠家
本實用新型涉及一種用于檢測物ti的位移特別是路面平整度、路面構(gòu)造深度等道路質(zhì)量指標(biāo)的道路檢測激光位移傳感器，由左、右激光位移傳感器和一個設(shè)置在二者之間并由二者共用的激光器組成，在左、右激光位移傳感器內(nèi)沿成像光軸方向各設(shè)有-組成像鏡頭和一個光電接收器。工作中，激光器發(fā)出的準(zhǔn)直激光束照射到被測物體粗糙表面后在照射點形成散射光斑，左、右成像鏡頭將散射光斑分別在左、右光電接收器上成像，得到左右兩組像點，之后通過數(shù)據(jù)處理，可以得到左右像點在像面光電接收器上的位置，lastly根據(jù)像點的位置并通過相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理方法處理后，即可以得到被測物體表面的位移。合肥激光位移傳感器工廠激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例。
一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進行解析時，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向，則MTFS>MTFT×10。
激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響，為了減小測量誤差，在整形鏡設(shè)計中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設(shè)計的要求，半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點正好符合這一要求，但其光束質(zhì)量并不理想，需要對其進行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發(fā)散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規(guī)則，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm。因此，在不允許能量損失的情況下，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573；但由于光束的快軸能量呈高斯分布，通常取半寬度(FWHM)為20°，此時NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些，但考慮到工藝問題，不宜過小，選定為2.5mm。為了便于設(shè)計，將系統(tǒng)倒置，整個系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm，像方NA=0.342，像距l(xiāng)′=2.5mm，物距l(xiāng)=40～60mm，焦距f=3～4mm。高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率，能夠測量微小的位移變化。
通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會影響測量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過采用帶通濾光片，能夠濾除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測量的準(zhǔn)確度。它具有高度穩(wěn)定性和可靠性。安徽激光位移傳感器廠家供應(yīng)
激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。紹興激光位移傳感器廠家
在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子弧矢向的情況下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件。紹興激光位移傳感器廠家