光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn)，已成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度、±0.02%的線性精度，30kHz的采樣速度和±60°的測(cè)量角度，適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。光譜共焦位移傳感器可以用于結(jié)構(gòu)的振動(dòng)、變形和位移等參數(shù)的測(cè)量。自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)徑光譜共焦設(shè)備
光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù)。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中，傳感器必須能夠進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果，以確?？煽康馁|(zhì)量保證。光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的，于目標(biāo)材料分開和表面特性，因此它們對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)過(guò)程變得越來(lái)越重要。這是“實(shí)時(shí)”生產(chǎn)過(guò)程中的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì)，在這種過(guò)程中，觸覺(jué)測(cè)量技術(shù)正在發(fā)揮其極限，尤其是當(dāng)目標(biāo)位于難以接近的區(qū)域時(shí)。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù)、高精度和高速度。此外，共焦色差測(cè)量技術(shù)允許進(jìn)行距離測(cè)量、透明材料的多層厚度測(cè)量、強(qiáng)度評(píng)估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測(cè)量。測(cè)量過(guò)程是無(wú)磨損的、非接觸式的，并且實(shí)際上與表面特性無(wú)關(guān)。由于測(cè)量光斑尺寸極小 ，即使是非常小的物體也能被檢測(cè)到。因此，共焦色度測(cè)量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制。推薦光譜共焦成本價(jià)光譜共焦透鏡組設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一；
在實(shí)踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理，憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測(cè)量。透明材料上表面及下表面都會(huì)形成不同波長(zhǎng)反射光，通過(guò)計(jì)算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量?？梢允箓鞲衅魍瓿蓪?duì)被測(cè)表面的精確掃描，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的分辨率。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M(jìn)行測(cè)量,而且對(duì)瓶壁沒(méi)有壓力?？赏ㄟ^(guò)設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向反射鏡實(shí)現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測(cè)及凹槽深度的測(cè)盤。（創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭，可以直接進(jìn)行深孔和凹槽的測(cè)量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測(cè)且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度 。
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去 ，這些反射回來(lái)的光再經(jīng)過(guò)與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過(guò)狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此，只有位于樣品表面的焦點(diǎn)位置才能聚焦在狹縫上，單色儀將該波長(zhǎng)的光分離出來(lái)，由控制箱中的光電組件識(shí)別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能，精度可以達(dá)到納米級(jí)別。
在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中，創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02%的線性精度，10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面，支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片柵線厚度時(shí)，使用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線厚度可通過(guò)柵線高度與基底高度之差獲得，通過(guò)將需要掃描測(cè)量的硅片標(biāo)記三個(gè)區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量來(lái)完成測(cè)量。由于柵線不是平整面，并且有一定的曲率，因此對(duì)于測(cè)量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響 。光譜共焦透鏡組設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。小型光譜共焦行情
光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設(shè)計(jì)是一項(xiàng)重要的研究?jī)?nèi)容。自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)徑光譜共焦設(shè)備
光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量，提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過(guò)透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測(cè)量，并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測(cè)量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測(cè)量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高，體積小，且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口，因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中 實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度，該傳感器可以對(duì)震動(dòng)物體進(jìn)行測(cè)量，同時(shí)采用無(wú)觸碰設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物體的干擾，也可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析 。自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)徑光譜共焦設(shè)備