從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小，主要是為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對(duì)均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm，在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過物體散射回去的，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時(shí)為了保證精度要求，光斑也不能太大，上面的結(jié)果能夠滿足需求。得到好的出射光斑以后，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問題。在直入射式三角法測(cè)量中，物體沿激光入射方向移動(dòng)，物面并不垂直于成像光軸。那么在透鏡成像過程中(如圖1)，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5]。要想達(dá)到理想的成像效果，光電探測(cè)器需依此條件放置。高精度激光位移傳感器的響應(yīng)速度非?？?，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)目標(biāo)物體的位移變化。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)
在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的位移測(cè)量。
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測(cè)物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無(wú)偏離，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無(wú)偏離，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測(cè)物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點(diǎn)在弧矢方向無(wú)偏離，在子午方向無(wú)偏離，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無(wú)偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測(cè)物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000，0.0000mm為物點(diǎn)在子午方向無(wú)偏離，
所述可伸縮導(dǎo)軌1包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11、一No.1支撐件15、一第二支撐件16、一滑動(dòng)輪12、一伸縮制動(dòng)開關(guān)13以及一控制面板14；所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11包括一伺服電機(jī)(未圖示)、一雙直線導(dǎo)軌111以及一絲桿(未圖示)，所述絲桿設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111內(nèi)部，所述絲桿與所述雙直線導(dǎo)軌111動(dòng)聯(lián)接，所述伺服電機(jī)設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111的末端且與所述絲桿連接，所述伺服電機(jī)通過所述絲桿聯(lián)動(dòng)所述雙直線導(dǎo)軌111進(jìn)行伸縮；所述No.1支撐件15安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11固定端的底部，所述第二支撐件16安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪12設(shè)于所述第二支撐件16的底部，所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11可通過所述滑動(dòng)輪12進(jìn)行伸縮；所述伸縮制動(dòng)開關(guān)13設(shè)于所述第二支撐件16的側(cè)面，用于伸縮制動(dòng)的開啟與關(guān)閉；所述控制面板14與所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11電連接，所述控制面板14用于控制所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離。它可以用于測(cè)量液壓系統(tǒng)的位移，以提高系統(tǒng)的控制精度。
系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī)、激光位移傳感器和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測(cè)頭和監(jiān)視器組成。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)主要由平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器、驅(qū)動(dòng)器、電源和二維電動(dòng)平移臺(tái)組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測(cè)頭和二維電動(dòng)平移臺(tái)。圖3為激光位移傳感器感測(cè)頭測(cè)量對(duì)象物原理。參考距離根據(jù)被測(cè)對(duì)象物的變化可測(cè)量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達(dá)到滿量程的0.3％，即精度達(dá)到6μm。它具有高度穩(wěn)定性和可靠性。青浦區(qū)激光位移傳感器性價(jià)比高
激光位移傳感器是一種非接觸式的測(cè)量設(shè)備，利用激光技術(shù)進(jìn)行精確的距離測(cè)量。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)
帶通濾光片，設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡，設(shè)置于激光器的出射光路上?？蛇x地，上述感光元件為線陣感光元件，線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件，面陣感光元件包括以矩形排列的多個(gè)感光單元，面陣感光元件的長(zhǎng)邊延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。此外，上述成像物鏡可以為單一鏡片，且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面；或者，成像物鏡為多個(gè)透鏡組成的透鏡組。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)