本實(shí)用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠础型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實(shí)用新型采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強(qiáng)的實(shí)用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。它可以測量物體的微小位移，精度可以達(dá)到亞微米級別。天津光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是：本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；認(rèn)可光譜共焦位移傳感器制作廠家該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測量。
將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個(gè)白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個(gè)光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測量光進(jìn)行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個(gè)光束:通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。
本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義。武漢光譜共焦位移傳感器市場價(jià)格
它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，能夠達(dá)到亞微米級的高精度。天津光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。天津光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦