一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學(xué)頭是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光;使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置。珠海光電光譜共焦位移傳感器該傳感器利用光學(xué)共焦原理，通過測量材料表面的光譜變化來確定位移大小。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。
位于沉孔的開口端，通過粘接固定設(shè)置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì)，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設(shè)置可以對導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù)，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時，不可避免的會產(chǎn)生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導(dǎo)光光纖的熱量大部分會傳導(dǎo)到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測量精度。
本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器，入射光纖，光譜共焦位移傳感探頭，接收光纖，光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器，其特征在于，包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光；入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；光譜共焦位移傳感探頭，所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端，所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦，并對被測物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)；光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。南通本地光譜共焦位移傳感器
該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格
此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點(diǎn)所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測量點(diǎn)上且被測量點(diǎn)反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點(diǎn)反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點(diǎn)。因此,使被測量點(diǎn)反射的綠色光G會聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點(diǎn)的位置處于一對一關(guān)系。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器廠家直銷價格