湖州光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，所述色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，所述準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光光源的準(zhǔn)直；所述色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。湖州光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)光譜波峰反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過(guò)光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。河北什么樣光譜共焦位移傳感器它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行精確測(cè)量，對(duì)于研究材料的變形行為具有重要意義。

白色光中所包括的多個(gè)可見(jiàn)光束彼此分離,并且從殼體部向著待測(cè)物體的測(cè)量點(diǎn)射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個(gè)顏色的光表示由物鏡分離的多個(gè)可見(jiàn)光束。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長(zhǎng))的光。 圖1所示的波長(zhǎng)和聚焦位置P,表示多個(gè)可見(jiàn)光束中的具有shortest波長(zhǎng)的可見(jiàn)光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)入和聚焦位置P表示多個(gè)可見(jiàn)光數(shù)中的具有longest波長(zhǎng)的可見(jiàn)光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)和聚焦位置P表示多個(gè)可見(jiàn)光束中的任意可見(jiàn)光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).

遠(yuǎn)距離測(cè)量：可遠(yuǎn)離被測(cè)物體進(jìn)行掃描測(cè)量。 測(cè)量效率高：不像接觸測(cè)頭那樣需要探測(cè)、返回、移動(dòng)等進(jìn)行逐點(diǎn)測(cè)量，可高速掃描測(cè)量。測(cè)量精度高：光斑可聚焦到很小，進(jìn)而可探測(cè)一般機(jī)械測(cè)頭難以探測(cè)的部位。 其中，光學(xué)測(cè)量以三角測(cè)量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測(cè)量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測(cè)信噪比高的激光光源，但使用激光進(jìn)行三角測(cè)量時(shí)，照射到物體表面的激光會(huì)呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，而且被測(cè)物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會(huì)影響的光斑的分布，從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難，導(dǎo)致三角法測(cè)量誤差比較大，在測(cè)量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯，為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測(cè)量位移，需要采用新型位移測(cè)量技術(shù)。因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當(dāng)光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實(shí)現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)；通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。合肥品牌光譜共焦位移傳感器

光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測(cè)量精度。湖州光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置。換句話說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測(cè)量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。湖州光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)