所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測(cè)量?jī)x22以及一微調(diào)平臺(tái)23；所述微調(diào)平臺(tái)23設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)23的前端；所述電子測(cè)量?jī)x22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時(shí)通過(guò)所述蝸輪聯(lián)動(dòng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。高精度激光位移傳感器具有較高的精確度，能夠滿足精密測(cè)量的需求。廣州激光位移傳感器的用途和特點(diǎn)
通過(guò)將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過(guò)采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會(huì)影響測(cè)量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過(guò)采用帶通濾光片，能夠?yàn)V除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。廣州激光位移傳感器的用途和特點(diǎn)它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的變形情況，提供及時(shí)的預(yù)警和反饋。
在一個(gè)實(shí)施例中，激光位移傳感器通過(guò)調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏離的MTFT值，曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏移的MTFS值；曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值；曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值；曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值；曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類(lèi)似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。
加工-測(cè)量-再加工-再測(cè)量是非球面加工的必要過(guò)程。非球面透鏡的高精度檢測(cè)不僅包括非球面表面形狀的檢測(cè)，還包括非球面中心偏差的測(cè)量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車(chē)床運(yùn)動(dòng)誤差、磨削力變形及檢測(cè)誤差的限制，加工的非球面光學(xué)元件會(huì)產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無(wú)法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計(jì)精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測(cè)信息進(jìn)行多誤差校正和補(bǔ)償加工。高精度激光位移傳感器可以用于測(cè)量液體的位移，如液位的變化等。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，省略了激光位移傳感器的外殼。實(shí)際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上，供激光器所發(fā)出的光通過(guò)。激光位移傳感器的工作過(guò)程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過(guò)聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后，照射在被測(cè)物體4的表面形成一個(gè)測(cè)量光斑，激光束可以垂直入射到被測(cè)物體4表面(即垂直入射)，也可與被測(cè)物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測(cè)量光斑由成像物鏡6成像，并在感光元件7形成測(cè)量信號(hào)。它可以實(shí)時(shí)測(cè)量物體的位移，并提供高精度的測(cè)量結(jié)果。珠海激光位移傳感器市場(chǎng)價(jià)格
激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的位移測(cè)量。廣州激光位移傳感器的用途和特點(diǎn)
本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域，并且特別地，涉及一種激光位移傳感器；光學(xué)傳感器是依據(jù)光學(xué)原理進(jìn)行測(cè)量的儀器，這類(lèi)傳感器有許多優(yōu)點(diǎn)，例如，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測(cè)量、測(cè)量幾乎不受干擾、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測(cè)、遙控、可實(shí)時(shí)處理等優(yōu)點(diǎn)。光學(xué)傳感器包括很多類(lèi)型，其中，以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)或者CCD(Charge-coupledDevice，電荷耦合元件)傳感器作為接收器的精密測(cè)量?jī)x器。這種傳感器能夠在非接觸的情況下精確測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化，并且能夠被應(yīng)用于檢測(cè)物體的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測(cè)量。廣州激光位移傳感器的用途和特點(diǎn)