本實(shí)用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進(jìn)行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個領(lǐng)域。武漢校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器
本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來對采集的光波進(jìn)行采集分析2、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,易于產(chǎn)業(yè)化,測量精度高,能對有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進(jìn)行測量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物適應(yīng)性強(qiáng),適用于凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù):4、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量,且測量精度能夠達(dá)到亞微米級別。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)用性強(qiáng),不僅實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測量精度,而且適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測量。如何選光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性和效率。
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過設(shè)備機(jī)械運(yùn)動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置。光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實(shí)現(xiàn)測量。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器詳情
光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測量精度。武漢校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。武漢校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器