在一個實施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向為感光單元的主要排列方向，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列，因此，長條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機械器件形變對所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實施例中，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個感光單元，矩形的長邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣，長條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。激光位移傳感器在金屬行業(yè)的應用案例。青浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢
加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測，還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制，加工的非球面光學元件會產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進行多誤差校正和補償加工。青浦區(qū)激光位移傳感器制造公司非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術(shù)的適應，以滿足新的測量要求并提高測量的準確性和分辨率。
2、與傳統(tǒng)激光位移傳感器相比，本發(fā)明所涉及的激光位移傳感器在光學系統(tǒng)中，S方向的成像質(zhì)量更高，進而從理論上可提高其測量精度；3、通過增加像散使線陣感光元件上的光斑信號呈現(xiàn)長條狀態(tài)，增大光斑信號與像元之間的接觸面積，進而降低機械件變形對信噪比的影響。在以上描述的實施例中，感光元件的感光單元沿著水平方向(將弧矢方向定義為水平方向)排列，將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在子午方向上的MTF值降低，而將弧矢方向上的MTF值拉高。在其他實施例中，感光元件的感光單元沿著豎直方向(將子午方向定義為豎直方向)排列，此時，可以將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在弧矢方向上的MTF值降低，而將子午方向上的MTF值拉高。這樣，同樣能夠達到上述類似的技術(shù)效果。以上所述only為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
為克服由于前述各種因素導致激光位移傳感器像面上的像點光斑不對稱現(xiàn)象對位移檢測產(chǎn)生的影響，目前本技術(shù)領(lǐng)域采用的做法大致有以下幾種情況:采用抗飽和芯片，用以消除芯片飽和產(chǎn)生的拖尾現(xiàn)象，但該方法還無法減小被測物體表面因反射不均勻或因粗糙度不均勻而引起的檢測誤差;在工業(yè)檢測中根據(jù)不同的被測物體表面反射情況,按照其產(chǎn)生的有規(guī)律的不同形狀的光斑,采用不同的數(shù)據(jù)處理方法提高檢測精度，這對工作場合穩(wěn)定、被測物體表面有規(guī)律的情況是完全可以的，但對被測表面反射情況事先無法知道的道路檢測方面，同樣還存在由于光斑不對稱產(chǎn)生的測量誤差;高精度激光位移傳感器具有較高的精確度，能夠滿足精密測量的需求。
帶通濾光片，設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡，設(shè)置于激光器的出射光路上?？蛇x地，上述感光元件為線陣感光元件，線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向為多個感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件，面陣感光元件包括以矩形排列的多個感光單元，面陣感光元件的長邊延伸方向為多個感光單元的主要排列方向。此外，上述成像物鏡可以為單一鏡片，且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面；或者，成像物鏡為多個透鏡組成的透鏡組。高精度激光位移傳感器可以用于測量液體的位移，如液位的變化等。防護激光位移傳感器性價比高企業(yè)
激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關(guān)系。青浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點在弧矢方向無偏離，在子午方向無偏離，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000，0.0000mm為物點在子午方向無偏離，青浦區(qū)激光位移傳感器主要功能與優(yōu)勢