品牌光譜共焦的原理

來源: 發(fā)布時間:2024-07-09

隨著科技的不斷進步 ,手機已經(jīng)成為我們?nèi)粘I钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?。然而,隨著手機功能的不斷擴展和提升,手機零部件的質(zhì)量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器被引入到手機零部件檢測中,為手機制造業(yè)提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感器是一種先進的光學(xué)檢測設(shè)備,它能夠?qū)崿F(xiàn)在微米級別的精確測量,同時具有高速、高分辨率和高靈敏度的特點。這使得它在手機零部件檢測方面具有獨特的優(yōu)勢。首先,高精度光譜共焦傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)對手機零部件表面缺陷的高精度檢測,包括微小的劃痕、凹陷和顆粒等。其次,它還能夠?qū)κ謾C零部件的材料成分進行準(zhǔn)確分析,確保手機零部件的質(zhì)量符合要求。另外,高精度光譜共焦傳感器還能夠?qū)崿F(xiàn)對手機零部件的尺寸和形狀的精確測量,確保手機零部件的精度和穩(wěn)定性。在實際應(yīng)用中,高精度光譜共焦傳感器在手機零部件檢測中的應(yīng)用主要包括以下幾個方面。首先,它可以用于對手機屏幕玻璃表面缺陷的檢測,如微小的劃痕和瑕疵。其次,可以用于對手機電池的材料成分和內(nèi)部結(jié)構(gòu)進行分析,確保電池的性能和安全性。另外,它還可以用于對手機金屬外殼的表面進行檢測,確保外殼的光滑度和一致性。激光共焦掃描顯微鏡將被測物體沿光軸移動或?qū)⑼哥R沿光軸移動。品牌光譜共焦的原理

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量,提供有關(guān)負載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,并且只需要使用一個傳感器從工件的一側(cè)進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,體積小,且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口,因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中 實現(xiàn)線上檢測 。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對震動物體進行測量,同時采用無觸碰設(shè)計,避免了測量過程中對震動物體的干擾,也可以對復(fù)雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 。高性能光譜共焦的精度光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義;

采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線。為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進行了偏移。從圖中可以看出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差 ,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,從圖中可以看出,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),兩種方法的測量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時,白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,同時,受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機噪聲可達100nm左右。

光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的技術(shù),在測量過程中無需軸向掃描,直接由波長對應(yīng)軸向距離信息,因此可以大幅提高測量速度?;诠庾V共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高,因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,大量應(yīng)用于精密定位、薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理,并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應(yīng)用。同時 對共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應(yīng)用進行了探討,并展望了其發(fā)展前景。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。

高像素傳感器設(shè)計方案取決于的光對焦水平,要求嚴格圖象室內(nèi)空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強度的全半寬來精確測量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設(shè)計超色差攝像鏡頭時,NA應(yīng)盡可能高的。高圖象室內(nèi)空間NA能提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,使待測表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜??墒?,NA的提高也會導(dǎo)致球差擴大,并產(chǎn)生電子光學(xué)設(shè)計優(yōu)化難度。傳感器檢測范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定。因為光譜儀在各個波長的像素一致,假如縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng),這類離散系統(tǒng)也會導(dǎo)致感應(yīng)器在各個波長的像素或敏感度存在較大差別,危害傳感器特性。縱向色差與波長的線性相關(guān)選用線形相關(guān)系數(shù)來精確測量,必須接近1。一般有兩種方法能夠形成充足強的色差:運用玻璃的當(dāng)然散射;應(yīng)用衍射光學(xué)元器件(DOE)。除開生產(chǎn)制造難度高、成本相對高外,當(dāng)能見光根據(jù)時 ,透射耗損也非常高。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。國產(chǎn)光譜共焦能測什么

光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。品牌光譜共焦的原理

共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力 ,已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細結(jié)構(gòu)的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準(zhǔn)模型;同時,基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系,建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定位方法,實現(xiàn)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級精度測量。用白光共焦光譜測量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時,其測量結(jié)果與白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率、靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測量數(shù)據(jù)等因素緊密相關(guān)。品牌光譜共焦的原理