高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢

來源: 發(fā)布時間:2024-07-04

遠(yuǎn)距離測量:可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進(jìn)行逐點測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進(jìn)而可探測一般機械測頭難以探測的部位。 其中,光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進(jìn)行三角測量時,照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布,從而確定像點的質(zhì)心位置變得異常困難,導(dǎo)致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯,為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測量位移,需要采用新型位移測量技術(shù)。因此,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景。高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計分光器。在針對多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,多個受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個光學(xué)頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。唐山光譜共焦位移傳感器價格走勢它可以測量物體的微小位移,精度可以達(dá)到亞微米級別。

本實用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測,將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測量具有如下優(yōu)點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù),易于想到的是,探頭殼體可設(shè)置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡,半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射,而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上,半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射,一半反射;該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。

分光器包括線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學(xué)系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進(jìn)行測量的多個光學(xué)頭。從光學(xué)頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響,提高測量精度。新品光譜共焦位移傳感器找哪家

該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢