發(fā)光件和導光光纖的入光端之間，固定設置有濾光片，濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設置，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖，從而影響影響導光光纖，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。湖北光譜共焦位移傳感器制作廠家
3.根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據(jù)權利要求3所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面。5.根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，所述準直鏡組設置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光光源的準直；所述色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。原裝光譜共焦位移傳感器市場價格它可以測量物體微小的位移，精度高達亞微米級別。
本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經(jīng)過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產(chǎn)生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經(jīng)被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y(jié)型光纖的另一端,單色光到達共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進入光譜儀,采集光譜信息;并通過調(diào)整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進行光強的歸一化處理,并對原始的光譜數(shù)據(jù)進行去噪平滑等預處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進行峰譜定位,高斯函數(shù)的峰值位置為其一階導數(shù)的零點,可以認為找到了高斯函數(shù)的一階導數(shù)零點就找到了高斯函數(shù)的峰譜位置。4)利用超精密的運動控制臺,來標定不同位置對應的光譜譜峰值,找出一一對應關系;標定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實用新型的具體實施例,但本實用新型的技術特征并不局限于此。任何以本實用新型為基礎,為實現(xiàn)基本相同的技術效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。
入射光纖，接收光纖，多個導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過保護套使入射光纖，接收光纖，多個導光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關系；被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；它的精度可以達到納米級別，適用于各種需要高精度位移測量的領域。
本實用新型解決的技術問題在于，針對現(xiàn)有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。浙江光譜共焦位移傳感器哪個品牌好
該傳感器可被應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。湖北光譜共焦位移傳感器制作廠家
本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置湖北光譜共焦位移傳感器制作廠家