松江區(qū)好的光譜共焦位移傳感器

來源: 發(fā)布時間:2024-06-23

根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。它可以實現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進行高精度測量,對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。松江區(qū)好的光譜共焦位移傳感器

本實用新型解決的技術(shù)問題在于,針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;怎樣選擇光譜共焦位移傳感器找哪家光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述機殼設(shè)置有兩層,所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,所述感光元件位于所述機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設(shè)置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡,所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,所述提示組件包括有:發(fā)光件,所述發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護套,所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。

接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光;光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接;半透半反光學(xué)鏡,所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。該傳感器利用光路中的光譜信息實現(xiàn)對位移的測量。

光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優(yōu)點。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器找哪家

它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。松江區(qū)好的光譜共焦位移傳感器

1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠础型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素?zé)艄庠催B接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內(nèi),且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。松江區(qū)好的光譜共焦位移傳感器