根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFT≥0.5，MTFS<0.05。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括：反光元件，所述反光元件設(shè)置在所述成像物鏡的出射光路上，所述成像物鏡的出射光經(jīng)所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括：帶通濾光片，設(shè)置于所述成像物鏡的入射光路上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括：聚焦透鏡，設(shè)置于所述激光器的出射光路上。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的激光位移傳感器，其特征在于，所述感光元件為線陣感光元件，所述線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向?yàn)樗龆鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。它可以用于測量機(jī)械零件的位移，以確保其精確性和穩(wěn)定性。普陀區(qū)激光位移傳感器常見問題
根據(jù)物體表面的散射特性，可確定入射光與成像透鏡光軸的夾角。激光入射到被測物體表面，散射光強(qiáng)度成橢球型分布[6]。當(dāng)入射光垂直入射時(shí)，α值越小，成像透鏡接收到的散射光強(qiáng)度越大，但角度過小對探測器分辨率要求及制作工藝上都有較高難度，綜合考慮取α值為21.8°，由儀器的測量范圍±10mm可得到物距為53.85mm。通常情況下，庫克三元組有很好的成像效果[7]，因此選擇庫克三元組作為成像透鏡的初始結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化。優(yōu)化過程中以各個(gè)鏡片表面的半徑為變量，控制厚度在適當(dāng)范圍，同時(shí)將像面與光軸的夾角β設(shè)為可變，采用CODEV的橫向像差與波像差相結(jié)合的方式進(jìn)行優(yōu)化，得到下面的結(jié)果。圖3為優(yōu)化后的成像光學(xué)系統(tǒng)虹口區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求為什么要使用激光位移傳感器呢？
2、與傳統(tǒng)激光位移傳感器相比，本發(fā)明所涉及的激光位移傳感器在光學(xué)系統(tǒng)中，S方向的成像質(zhì)量更高，進(jìn)而從理論上可提高其測量精度；3、通過增加像散使線陣感光元件上的光斑信號呈現(xiàn)長條狀態(tài)，增大光斑信號與像元之間的接觸面積，進(jìn)而降低機(jī)械件變形對信噪比的影響。在以上描述的實(shí)施例中，感光元件的感光單元沿著水平方向(將弧矢方向定義為水平方向)排列，將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在子午方向上的MTF值降低，而將弧矢方向上的MTF值拉高。在其他實(shí)施例中，感光元件的感光單元沿著豎直方向(將子午方向定義為豎直方向)排列，此時(shí)，可以將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在弧矢方向上的MTF值降低，而將子午方向上的MTF值拉高。這樣，同樣能夠達(dá)到上述類似的技術(shù)效果。以上所述only為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS>MTFT×10。激光位移傳感器在金屬行業(yè)的應(yīng)用案例。
通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會影響測量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過采用帶通濾光片，能夠?yàn)V除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測量的準(zhǔn)確度。它還可以用于測量材料的膨脹和收縮，以研究其熱學(xué)性質(zhì)。南京激光位移傳感器誠信企業(yè)推薦
在工業(yè)領(lǐng)域，激光位移傳感器可以用于檢測零件的尺寸和位置，以確保生產(chǎn)過程的準(zhǔn)確性和一致性。普陀區(qū)激光位移傳感器常見問題
本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準(zhǔn)確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因?yàn)檎駝踊驒C(jī)械變形等隨帶來的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本；普陀區(qū)激光位移傳感器常見問題