此外,物鏡使在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)所反射的可見光會(huì)聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測(cè)量點(diǎn)上且被測(cè)量點(diǎn)反射的可見光由物鏡會(huì)聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個(gè)可見光束中的在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)反射的可見光作為測(cè)量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測(cè)物體0反射的RGB這三個(gè)顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測(cè)量點(diǎn)。因此,使被測(cè)量點(diǎn)反射的綠色光G會(huì)聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測(cè)量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測(cè)量光的波長(zhǎng)和光軸上的測(cè)量點(diǎn)的位置處于一對(duì)一關(guān)系。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。天津光譜共焦位移傳感器推薦廠家
Preferencyly,在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè),在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響,發(fā)光件左右對(duì)稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè),分別通過插槽3400與發(fā)光件連接,兩個(gè)導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對(duì)稱設(shè)置,發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo),從各個(gè)方向射出,使用者能從各個(gè)角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器品牌企業(yè)光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測(cè)量傳感器。
易于想到的是,發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,如當(dāng)被測(cè)物體放置在efficient測(cè)量區(qū)域但不是best位置時(shí),發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對(duì)發(fā)光件的發(fā)光面,探頭殼體上開設(shè)有插槽,導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁,從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測(cè)量時(shí),方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。
1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素?zé)艄庠催B接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套簡(jiǎn)和一個(gè)彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)所述雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內(nèi),且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個(gè)所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個(gè)所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。
本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,用于對(duì)探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù),易于想到的是,探頭殼體可設(shè)置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡,半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學(xué)鏡對(duì)通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射,而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測(cè)物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上,半透半反光學(xué)鏡對(duì)反射光進(jìn)行一半透射,一半反射;該傳感器利用光路中的光譜信息來測(cè)量位移。北京光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢(shì)
該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性。天津光譜共焦位移傳感器推薦廠家
在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測(cè)量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個(gè)光學(xué)頭、分光器和位置計(jì)算部。光源部射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。多個(gè)光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。天津光譜共焦位移傳感器推薦廠家