光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,具有亞微米級的高精度。標準光譜共焦位移傳感器廠家
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi),通過卡扣可拆卸設置,用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件;發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈,也可為其他可見光光源,當探頭操作正常且被測物體在有效測量區(qū)域時,由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出綠色光,提醒使用者操作正常,可以繼續(xù)操作。當探頭操作不正?;虮粶y物體不在有效測量區(qū)域時,由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出紅光,提示使用者操作出現(xiàn)問題,需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,增加便利性。江蘇光譜共焦位移傳感器招商加盟光譜共焦技術可以消除光學系統(tǒng)的像差和色差等影響,提高測量精度。
在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。
易于想到的是,發(fā)光件還可設置為發(fā)射多色光,如當被測物體放置在efficient測量區(qū)域但不是best位置時,發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設置有導光光纖,導光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導光光纖的入光端正對發(fā)光件的發(fā)光面,探頭殼體上開設有插槽,導光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,導光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導到探頭殼體的側(cè)壁,從而實現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,當手握探頭殼體進行位置測量時,方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。
本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器,入射光纖,光譜共焦位移傳感探頭,接收光纖,光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器,其特征在于,包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光;入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;光譜共焦位移傳感探頭,所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端,所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導;它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領域。河北什么樣光譜共焦位移傳感器
該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。標準光譜共焦位移傳感器廠家
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,用于對探頭內(nèi)的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射,而當透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;標準光譜共焦位移傳感器廠家