松江區(qū)本地光譜共焦位移傳感器

來源: 發(fā)布時間:2024-06-17

本實用新型涉及光電精密測量領域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產業(yè)飛速發(fā)展,對產品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進行高效率、高精度的檢測,將直接關系到產品的質量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優(yōu)點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,達到亞微米級的高精度。松江區(qū)本地光譜共焦位移傳感器

通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。 多個光入射口可以被設置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區(qū)域。 多個光入射口可以設置在相對于 預定基準軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設計分光器。 多個光入射口可以設置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個光入射口設置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設計分光器。松江區(qū)本地光譜共焦位移傳感器該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。

遠距離測量:可遠離被測物體進行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進行逐點測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進而可探測一般機械測頭難以探測的部位。 其中,光學測量以三角測量法應用broadest。而根據三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進行三角測量時,照射到物體表面的激光會呈現顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質和放置的角度會影響的光斑的分布,從而確定像點的質心位置變得異常困難,導致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯,為了更加精細、更加穩(wěn)定的測量位移,需要采用新型位移測量技術。因此,現有技術還有待于改進和發(fā)展。

光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當地設計。例如,可以使用諸如和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。

本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器,入射光纖,光譜共焦位移傳感探頭,接收光纖,光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器,其特征在于,包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光;入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;光譜共焦位移傳感探頭,所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端,所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導;光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。光電光譜共焦位移傳感器信賴推薦

傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。松江區(qū)本地光譜共焦位移傳感器

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡,分光鏡有一定厚度,使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移,而波長不同,其橫向偏移不相等,導致多色光的光軸發(fā)生分離,經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,其連線也不是一條直線,所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,使整個系統(tǒng)產生較大誤差,難以保證整個系統(tǒng)的測量精度。因此,本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸,不發(fā)生光軸偏移,即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱,而且沒有垂直光軸方向的偏移,可以更好的消除像差,同時其結構簡單,提高機械結構的可加工性。松江區(qū)本地光譜共焦位移傳感器