過(guò)去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開(kāi)2014/141535(以下稱(chēng)為專(zhuān)利文獻(xiàn)1)公開(kāi)了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專(zhuān)利文獻(xiàn)1的說(shuō)明書(shū)中的段落、通過(guò)以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭only使用一個(gè)分光器(攝像裝置)來(lái)進(jìn)行測(cè)量對(duì)象的多點(diǎn)測(cè)量.它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。湖北光譜共焦位移傳感器大概價(jià)格多少
準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置，且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點(diǎn)。這樣，使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)一步減小雜散光。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工裝配和調(diào)整，同時(shí)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長(zhǎng)有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點(diǎn)；例如，軸向色散與波長(zhǎng)產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系，有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運(yùn)算速度。本實(shí)用新型的光譜儀包括有機(jī)殼，在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上，棱鏡組用于對(duì)反射光進(jìn)行色散，在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對(duì)色散后的光進(jìn)行聚焦，位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。湖北防護(hù)光譜共焦位移傳感器它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。
1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素?zé)艄庠催B接所述Y型光纖,所述光譜儀通過(guò)所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套簡(jiǎn)和一個(gè)彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)所述雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過(guò)SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內(nèi),且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個(gè)所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱(chēng)設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個(gè)所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。
將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開(kāi)設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過(guò)導(dǎo)光光纖進(jìn)行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對(duì)光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測(cè)量誤差，提高測(cè)量精度；通過(guò)濾光片過(guò)濾紅外線，進(jìn)一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對(duì)下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響，從而減少測(cè)量誤差，提高測(cè)量精度。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是：本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測(cè)量。揚(yáng)州標(biāo)準(zhǔn)光譜共焦位移傳感器
該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。湖北光譜共焦位移傳感器大概價(jià)格多少
接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學(xué)鏡，所述半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設(shè)置在所述探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。湖北光譜共焦位移傳感器大概價(jià)格多少