隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來(lái)檢測(cè)對(duì)象物平面平整度。位移傳感器用來(lái)測(cè)量目標(biāo)物體的距離，按與對(duì)象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場(chǎng)、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行高精密度的位移測(cè)定，例如可以對(duì)微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測(cè)定，還可以測(cè)量電路板上的焊錫以及測(cè)定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái)。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測(cè)。它抗干擾能力強(qiáng)，能夠在復(fù)雜環(huán)境下正常工作。珠海激光位移傳感器廠家
針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測(cè)量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測(cè)量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對(duì)振動(dòng)、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對(duì)成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進(jìn)一步地，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS＞MTFT×10；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较颍瑒tMTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较?，則MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。杭州激光位移傳感器的用途和特點(diǎn)它可以用于測(cè)量物體的形狀和輪廓，以提供準(zhǔn)確的幾何信息。
在激光位移傳感器中，激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動(dòng)的物鏡，在受測(cè)對(duì)象物上聚集為一焦點(diǎn)，同時(shí)反射光也會(huì)在小孔位置合集為一點(diǎn)，并使受光元件受光，通過測(cè)定物鏡的具體的位置，從而準(zhǔn)確地測(cè)定目標(biāo)物離參考位置的距離，并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測(cè)頭的焦點(diǎn)分別為對(duì)準(zhǔn)和沒有對(duì)準(zhǔn)對(duì)象物時(shí)的情況。上位機(jī)與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進(jìn)行通信，串口信號(hào)格式為：COMl口、波特率9 600、無(wú)奇偶校驗(yàn)、8位數(shù)據(jù)位、1位停止位，也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數(shù)據(jù)。
一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對(duì)所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS>MTFT×10。它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中。
本實(shí)用新型涉及一種檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，特別指一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器，它由激光器、激光檢測(cè)器、測(cè)量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測(cè)量?jī)x表，能夠非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位移變化，并且測(cè)量精度高。在激光位移傳感器的使用過程中，由于設(shè)備的磨損老化等原因，導(dǎo)致激光位移傳感器的測(cè)量誤差增大，此時(shí)需要將激光位移傳感器進(jìn)行定期的檢驗(yàn)、校準(zhǔn)。目前，對(duì)激光位移傳感器的檢驗(yàn)、校準(zhǔn)，主流的做法是測(cè)量一個(gè)已知的距離(比如：1米、5米、10米等)，通過對(duì)比測(cè)量的數(shù)值與實(shí)際的數(shù)值來(lái)判斷測(cè)量的精確度。但是這種方法存在有如下問題：1、檢驗(yàn)的精度不夠高；2、需要較大的場(chǎng)地。高精度激光位移傳感器還可以用于科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。鎮(zhèn)江激光位移傳感器
激光位移傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用案例。珠海激光位移傳感器廠家
所述微調(diào)裝置2包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21、一電子測(cè)量?jī)x22以及一微調(diào)平臺(tái)23；所述微調(diào)平臺(tái)23設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)23的末端向上設(shè)有一延伸部231；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)23的前端；所述電子測(cè)量?jī)x22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21。所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調(diào)節(jié)把手212；所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x22抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手212與所述蝸輪固接；當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212時(shí)通過所述蝸輪聯(lián)動(dòng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移。珠海激光位移傳感器廠家