傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對(duì)稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性。如何選光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別。本地光譜共焦位移傳感器出廠價(jià)光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。
位于沉孔的開口端，通過粘接固定設(shè)置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì)，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設(shè)置可以對(duì)導(dǎo)光光纖的出光端進(jìn)行保護(hù)，本實(shí)施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導(dǎo)光光纖從發(fā)光件傳導(dǎo)過來的光發(fā)散傳導(dǎo)到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設(shè)置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實(shí)現(xiàn)可拆卸連接，導(dǎo)光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學(xué)部件設(shè)置在下殼體上，這樣導(dǎo)光光纖傳導(dǎo)從發(fā)光件發(fā)出來的光時(shí)，不可避免的會(huì)產(chǎn)生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設(shè)置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導(dǎo)光光纖的熱量大部分會(huì)傳導(dǎo)到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會(huì)抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對(duì)下殼體及對(duì)下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光學(xué)頭是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。一種測(cè)量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個(gè)光束:通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光;使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測(cè)量。
采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設(shè)置發(fā)射光和反射光的單獨(dú)通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時(shí)不會(huì)出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號(hào)的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設(shè)置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會(huì)產(chǎn)生內(nèi)部串?dāng)_，降低信噪比，影響有效信號(hào)的提取和整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨(dú)進(jìn)行設(shè)置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。南通光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理
光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)。如何選光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。如何選光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理