本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿(mǎn)足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(zhǎng)(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測(cè)量的準(zhǔn)確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線(xiàn)形，將矩形長(zhǎng)邊或直線(xiàn)的延伸方向上的MTF降低，也不會(huì)影響測(cè)量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無(wú)需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本；無(wú)論是在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療診斷還是科學(xué)研究，它都發(fā)揮著巨大作用，為我們提供了準(zhǔn)確而可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)
進(jìn)一步地，所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線(xiàn)接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。進(jìn)一步地，所述電子測(cè)量?jī)x包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置；所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上，所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述橫向蝸桿上。 進(jìn)一步地，所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器；所述夾持器套設(shè)在所述縱向螺桿上，所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。
優(yōu)點(diǎn)在于：1、通過(guò)所述電子千分表，使得所述激光位移傳感器的檢驗(yàn)精度極大提高。2、通過(guò)所述電動(dòng)伸縮雙直線(xiàn)導(dǎo)軌，簡(jiǎn)化了檢驗(yàn)流程、當(dāng)設(shè)備閑置時(shí)收縮導(dǎo)軌可節(jié)約占地面積。 無(wú)錫激光位移傳感器行情它們的穩(wěn)定性使得測(cè)量結(jié)果具有較高的重復(fù)性和可信度。
非接觸式激光平面檢測(cè)采用的是集光、機(jī)電一體化的測(cè)量設(shè)備系統(tǒng)，系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測(cè)量的新型位移檢測(cè)裝置，具有分辨率高，線(xiàn)性度高和穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)象物的高精度、高可靠性的測(cè)量。本文中定性檢測(cè)試驗(yàn)較好地反映出對(duì)象物平面實(shí)際起伏情況，定量檢測(cè)試驗(yàn)結(jié)果達(dá)到了儀器的理論精度為6μm范圍內(nèi)的要求。該系統(tǒng)能滿(mǎn)足現(xiàn)代化生產(chǎn)和科學(xué)研究的需要，具有廣闊的應(yīng)用前景。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺(jué)、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來(lái)檢測(cè)對(duì)象物平面平整度。位移傳感器用來(lái)測(cè)量目標(biāo)物體的距離，按與對(duì)象物的接觸類(lèi)型它分為兩類(lèi)：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場(chǎng)、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行高精密度的位移測(cè)定，例如可以對(duì)微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測(cè)定，還可以測(cè)量電路板上的焊錫以及測(cè)定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái)。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)，對(duì)拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測(cè)。它具有較長(zhǎng)的使用壽命，能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。
針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測(cè)量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測(cè)量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對(duì)振動(dòng)、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對(duì)成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿(mǎn)足以下條件：[0011]在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進(jìn)一步地，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFS＞MTFT×10；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较?，則MTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较?，則MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動(dòng)了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng)，以滿(mǎn)足新的測(cè)量要求并提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和分辨率。閔行區(qū)激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨
光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測(cè)量。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱(chēng)為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，省略了激光位移傳感器的外殼。實(shí)際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上，供激光器所發(fā)出的光通過(guò)。激光位移傳感器的工作過(guò)程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過(guò)聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后，照射在被測(cè)物體4的表面形成一個(gè)測(cè)量光斑，激光束可以垂直入射到被測(cè)物體4表面(即垂直入射)，也可與被測(cè)物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測(cè)量光斑由成像物鏡6成像，并在感光元件7形成測(cè)量信號(hào)。好的激光位移傳感器量大從優(yōu)