激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段,并可以通過與計算機及應(yīng)用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時處理,為工業(yè)生產(chǎn)制定相關(guān)決策提供幫助。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域。其應(yīng)用主要是用于非標的檢測設(shè)備中,國內(nèi)所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應(yīng)。哈爾濱如何選光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光; 光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。湖北光譜共焦位移傳感器成本價它可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行精確測量,對于研究材料的變形行為具有重要意義。
本實用新型解決的技術(shù)問題在于,針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。它可以測量物體的微小位移,精度可以達到亞微米級別。
采用入射光纖和接收光纖分離的方式,發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸,從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾,提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比;而且通過設(shè)置發(fā)射光和反射光的單獨通道,光路更順暢,發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射,從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設(shè)置過程中,采用的是Y型光纖,入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖,形成Y型光纖,這樣會產(chǎn)生內(nèi)部串擾,降低信噪比,影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設(shè)置,可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題,使光的傳播更加穩(wěn)定。傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進行測量。江蘇標準光譜共焦位移傳感器
傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。哈爾濱如何選光譜共焦位移傳感器
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素燈光源的光譜波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。哈爾濱如何選光譜共焦位移傳感器