被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)光譜波峰反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過(guò)光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。成都國(guó)內(nèi)光譜共焦位移傳感器
在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測(cè)量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個(gè)光學(xué)頭、分光器和位置計(jì)算部。光源部射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。多個(gè)光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。鎮(zhèn)江光譜共焦位移傳感器零售價(jià)格它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。
根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。
Preferencyly，在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè)，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響，發(fā)光件左右對(duì)稱布置在光源耦合器中，通過(guò)卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè)，分別通過(guò)插槽3400與發(fā)光件連接，兩個(gè)導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對(duì)稱設(shè)置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過(guò)導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo)，從各個(gè)方向射出，使用者能從各個(gè)角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。
入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過(guò)保護(hù)套使入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖形成通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學(xué)鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。銷售光譜共焦位移傳感器的用途和特點(diǎn)
光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測(cè)量精度。成都國(guó)內(nèi)光譜共焦位移傳感器
在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖，入射光纖固定連接在光源耦合器上后，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中，入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光；，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別在聚焦于軸向不同高度，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行接收和傳導(dǎo)；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖，接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光，接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進(jìn)行傳導(dǎo)；成都國(guó)內(nèi)光譜共焦位移傳感器