被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線(xiàn)的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,通過(guò)光譜波峰反推出被測(cè)物體的位移,實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過(guò)光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測(cè)量的優(yōu)勢(shì),可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測(cè)量。珠海光譜共焦位移傳感器常用解決方案
本實(shí)用新型涉及光電精密測(cè)量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國(guó)的航空航天、汽車(chē)、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對(duì)產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來(lái)越高,所以,能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測(cè),將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測(cè)量的技術(shù)手段通常分為接觸式測(cè)量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測(cè)量(光學(xué)式為主)兩類(lèi)。非接觸式光學(xué)測(cè)量具有如下優(yōu)點(diǎn):無(wú)損檢測(cè):可測(cè)量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場(chǎng)景。鹽城怎樣選擇光譜共焦位移傳感器它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行精確測(cè)量,對(duì)于研究材料的變形行為具有重要意義。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束:多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線(xiàn)傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線(xiàn)傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束中的各個(gè)測(cè)量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線(xiàn)傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。
在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上固定設(shè)置有反光鏡,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光,即反光鏡對(duì)半透半反光學(xué)鏡所反射的光線(xiàn)進(jìn)行再次反射,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,通過(guò)反光鏡所反射的反射光進(jìn)入到接收光纖的入光端,再通過(guò)接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實(shí)施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導(dǎo)光的纖芯直徑均為微米級(jí),直徑通常為50-100毫米,導(dǎo)光直徑非常小,當(dāng)反射光的焦點(diǎn)落在接收光纖的纖芯之外時(shí),無(wú)法對(duì)反射光進(jìn)行接收,而需要測(cè)量的相應(yīng)波長(zhǎng)的反射光可以順利通過(guò)接收光纖的纖芯,被順利接收和傳導(dǎo),實(shí)現(xiàn)對(duì)不同波長(zhǎng)的反射光進(jìn)行選擇和物理過(guò)濾,因此可以通過(guò)縮小光纖的纖芯直徑來(lái)使采樣信號(hào)更銳利,從提高采樣信號(hào)的信噪比和測(cè)量精確度。光譜共焦位移傳感器是一種先進(jìn)的光學(xué)測(cè)量技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)高精度的位移測(cè)量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述機(jī)殼設(shè)置有兩層,所述聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層,所述感光元件位于所述機(jī)殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線(xiàn)傳播方向的光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組,所述光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設(shè)置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡,所述光線(xiàn)轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線(xiàn)聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,所述提示組件包括有:發(fā)光件,所述發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料的變化情況,對(duì)于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。天津光譜共焦位移傳感器零售價(jià)格
光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應(yīng)用前景。珠海光譜共焦位移傳感器常用解決方案
這樣,通過(guò)棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散,色散后的光通過(guò)聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦,使焦點(diǎn)位于感光元件上,通過(guò)感光元件與控制電路電性連接,從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出,即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線(xiàn)的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,通過(guò)波光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移,實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散,具有較小的光能量損失。珠海光譜共焦位移傳感器常用解決方案