本實(shí)施例中在探頭殼體的內(nèi)壁上一體成型設(shè)置有鏡座，反光鏡粘接固定設(shè)置在所述鏡座上，所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設(shè)置。通過鏡座對(duì)反光鏡形成穩(wěn)定支撐，使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°，便于對(duì)光線進(jìn)行反射，使被測物體反射的光線經(jīng)半透半反光學(xué)鏡后轉(zhuǎn)折90°，到達(dá)反光鏡，反光鏡對(duì)其轉(zhuǎn)折90°，使光線順利進(jìn)入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組固定設(shè)置在靠近多色光光源的一側(cè)，用于多色光的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別色散和聚焦，使不同波長的光的焦點(diǎn)沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學(xué)鏡射出的光線到達(dá)色散鏡頭，先通過準(zhǔn)直鏡組對(duì)多色光進(jìn)行準(zhǔn)直，使出射光線變成為軸向平行光，軸向平行光到達(dá)色散聚焦鏡組，從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度，各焦點(diǎn)高度按照波長的順序，沿軸向依次排列。該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。上海光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來測量待測物體上的兩個(gè)測量點(diǎn)的位置。換句話說,可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測量對(duì)象的兩個(gè)測量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測量的情況,并且可以同時(shí)測量兩個(gè)不同的待測物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長光。遼寧什么樣光譜共焦位移傳感器該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。
通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個(gè)光束。通過多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測量對(duì)象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。
被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程，通過光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例only用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng)，也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光，還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光，光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當(dāng)調(diào)節(jié)，同時(shí)通過反饋控制實(shí)現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩(wěn)定；光源耦合部分設(shè)置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對(duì)無效的紅外光和熱量進(jìn)行過濾,避免進(jìn)入其他部件而造成熱變形，因此，對(duì)整體系統(tǒng)的性能有改善作用。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測量精度。光譜共焦位移傳感器誠信合作
該傳感器利用光路中的光譜信息實(shí)現(xiàn)對(duì)位移的測量。上海光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對(duì)采集的光波進(jìn)行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。上海光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好