在一個(gè)實(shí)施例中，上述感光元件7可以為線(xiàn)陣CCD感光芯片，或者也可以是線(xiàn)陣CMOS感光芯片。在線(xiàn)陣CCD感光芯片或線(xiàn)陣CMOS感光芯片中，包括線(xiàn)形排列的多個(gè)感光單元，通常為直線(xiàn)排列，該直線(xiàn)的延伸方向?yàn)楦泄鈫卧闹饕帕蟹较颍@些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線(xiàn)狀排列，因此，長(zhǎng)條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機(jī)械器件形變對(duì)所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實(shí)施例中，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個(gè)感光單元，矩形的長(zhǎng)邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長(zhǎng)邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣，長(zhǎng)條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。激光位移傳感器的優(yōu)勢(shì)是什么呢？蘇州激光位移傳感器產(chǎn)品原理
從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小，主要是為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對(duì)均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm，在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過(guò)物體散射回去的，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時(shí)為了保證精度要求，光斑也不能太大，上面的結(jié)果能夠滿(mǎn)足需求。得到好的出射光斑以后，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問(wèn)題。在直入射式三角法測(cè)量中，物體沿激光入射方向移動(dòng)，物面并不垂直于成像光軸。那么在透鏡成像過(guò)程中(如圖1)，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5]。要想達(dá)到理想的成像效果，光電探測(cè)器需依此條件放置。蕪湖激光位移傳感器誠(chéng)信企業(yè)推薦激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的位移測(cè)量。
一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對(duì)所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿(mǎn)足以下條件：在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結(jié)果滿(mǎn)足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離，使得所述解析結(jié)果滿(mǎn)足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较颍瑒tMTFS>MTFT×10。
如權(quán)利要求2所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)、一電子測(cè)量?jī)x以及一微調(diào)平臺(tái)；所述微調(diào)平臺(tái)設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線(xiàn)導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)的末端向上設(shè)有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)的前端；所述電子測(cè)量?jī)x的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)。如權(quán)利要求3所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線(xiàn)接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量?jī)x抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。它可以用于測(cè)量機(jī)械零件的位移，以確保其精確性和穩(wěn)定性。
為克服由于前述各種因素導(dǎo)致激光位移傳感器像面上的像點(diǎn)光斑不對(duì)稱(chēng)現(xiàn)象對(duì)位移檢測(cè)產(chǎn)生的影響，目前本技術(shù)領(lǐng)域采用的做法大致有以下幾種情況:采用抗飽和芯片，用以消除芯片飽和產(chǎn)生的拖尾現(xiàn)象，但該方法還無(wú)法減小被測(cè)物體表面因反射不均勻或因粗糙度不均勻而引起的檢測(cè)誤差;在工業(yè)檢測(cè)中根據(jù)不同的被測(cè)物體表面反射情況,按照其產(chǎn)生的有規(guī)律的不同形狀的光斑,采用不同的數(shù)據(jù)處理方法提高檢測(cè)精度，這對(duì)工作場(chǎng)合穩(wěn)定、被測(cè)物體表面有規(guī)律的情況是完全可以的，但對(duì)被測(cè)表面反射情況事先無(wú)法知道的道路檢測(cè)方面，同樣還存在由于光斑不對(duì)稱(chēng)產(chǎn)生的測(cè)量誤差;高精度激光位移傳感器的可靠性和穩(wěn)定性也是其優(yōu)點(diǎn)之一。嘉定區(qū)激光位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
這種傳感器具有較高的穩(wěn)定性和可靠性，能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地工作。蘇州激光位移傳感器產(chǎn)品原理
從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出，在整個(gè)物面并不垂直于光軸時(shí)，經(jīng)過(guò)系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸，與光軸存在一定的夾角β，設(shè)計(jì)的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°，此時(shí)像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場(chǎng)的散射光均能很好地成像于探測(cè)器。在圖4中可看到不同視場(chǎng)的成像光斑形狀，此點(diǎn)列圖表明成像光斑分布均勻，但還存在一定的剩余像差，主要為球差，光斑大小可見(jiàn)表2，光斑直徑在20μm左右。同時(shí)根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果可得像距為33.092mm，經(jīng)計(jì)算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物鏡設(shè)計(jì)基本滿(mǎn)足于Scheimpflug理想成像條件。蘇州激光位移傳感器產(chǎn)品原理