分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學性能具有重要意義。小型光譜共焦位移傳感器供應鏈
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調(diào)整的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。遼寧如何光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應用前景。
機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉(zhuǎn)向鏡組使光線實現(xiàn)掉頭轉(zhuǎn)向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。
位于沉孔的開口端，通過粘接固定設置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質(zhì)或塑料材質(zhì)，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導光光纖從發(fā)光件傳導過來的光發(fā)散傳導到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接，導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上，這樣導光光纖傳導從發(fā)光件發(fā)出來的光時，不可避免的會產(chǎn)生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。
采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產(chǎn)生內(nèi)部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。銷售光譜共焦位移傳感器調(diào)試
光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術(shù)，可以實現(xiàn)高精度的位移測量。小型光譜共焦位移傳感器供應鏈
本實用新型涉及光電精密測量領域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展，對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高，所以，能否進行高效率、高精度的檢測，將直接關系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優(yōu)點：無損檢測：可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件，特別適合不允許接觸的場景。小型光譜共焦位移傳感器供應鏈