1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍葘ΨQ設置。4.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量，對于研究材料的表面性質具有重要意義。國內光譜共焦位移傳感器廠家
本實施例中在探頭殼體的內壁上一體成型設置有鏡座，反光鏡粘接固定設置在所述鏡座上，所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐，使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°，便于對光線進行反射，使被測物體反射的光線經(jīng)半透半反光學鏡后轉折90°，到達反光鏡，反光鏡對其轉折90°，使光線順利進入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，準直鏡組固定設置在靠近多色光光源的一側，用于多色光的準直；色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別色散和聚焦，使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學鏡射出的光線到達色散鏡頭，先通過準直鏡組對多色光進行準直，使出射光線變成為軸向平行光，軸向平行光到達色散聚焦鏡組，從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度，各焦點高度按照波長的順序，沿軸向依次排列。閔行區(qū)國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。
被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。
當光線射到半透半反膜上時，一部分光線進行透射到下三棱鏡上，一部分光線進行反射，反射到背向所述反光鏡的一面，在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進行涂黑處理從而成為啞光面，當光被半透半反光學鏡反射到啞光面上時，被啞光面吸收，因此可以減少整個系統(tǒng)的雜散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小，因此可認為，多色光從下三棱鏡射出時，基本不發(fā)生位置偏移，從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，而且不發(fā)生光軸偏移，有利于后續(xù)對多色光進行色散和聚焦。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性和效率。
光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智它可以實現(xiàn)對材料的微觀結構進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質具有重要意義。國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。國內光譜共焦位移傳感器廠家
將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個白色LED 向光纖和射出白色光W。應當注意,可以適當?shù)卦O計發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個光纖射出的光學系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導入的白色光W導出至與No.1光學頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導入的測量光進行分支,并且將其導出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學頭射出的測量光從光纖射出到分光器的內部。國內光譜共焦位移傳感器廠家