玻璃基板是液晶顯示屏必須的部件之一,每個液晶屏需要兩個玻璃基板,用作底部基板和彩色濾光片底部的支撐基板。玻璃基板的質(zhì)量對面板的分辨率、透光度、厚度、凈重和可見角度等參數(shù)都有很大的影響。玻璃基板是液晶顯示屏中基本的構(gòu)件之一,其制備過程需要獲得非常平坦的表面。當(dāng)前在商業(yè)上使用的玻璃基板厚度為0.7毫米和0.5毫米,未來還將向更薄的特殊groove(如0.4毫米)厚度發(fā)展。大多數(shù)TFT-LCD穩(wěn)定面板需要兩個玻璃基板。由于玻璃基板很薄,而厚度規(guī)格要求相當(dāng)嚴(yán)格,通常公差穩(wěn)定在0.01毫米,因此需要對夾層玻璃的厚度、膨脹和平面度進行清晰的測量。使用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以很好地解決這個問題,一次測量就可以獲得多個高度值和厚度補償。同時,可以使用多個傳感器進行測量,不僅可以提高效率,還可以防止接觸式測量所帶來的二次損傷。光譜共焦厚度檢測系統(tǒng)可以實現(xiàn)厚度的非接觸式測量;高采樣速率光譜共焦測量儀
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應(yīng)一個軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點范圍內(nèi)時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。高采樣速率光譜共焦測量儀光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一;
光譜共焦傳感器使用復(fù)色光作為光源,可以實現(xiàn)微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量,其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上下兩個表面都會反射,傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的,可能會引起一定誤差。本文分析了平行平板位移測量誤差的來源和影響因素。
非球面中心偏差的測量方法包括接觸式(例如使用百分表)和非接觸式(例如使用光學(xué)傳感器)。本文采用自準(zhǔn)直定心原理和光譜共焦位移傳感技術(shù),對高階非球面透鏡的中心偏差進行了非接觸精密測量。通過測量出的校正量和位置方向?qū)η蛎孢M行拋光,糾正非球面透鏡中心偏差,以滿足光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計的要求。由于非球面已經(jīng)加工到一定的精度要求,因此對球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對稱高階非球面曲線的數(shù)學(xué)模型計算被測環(huán)D帶的旋轉(zhuǎn)角度θ,即光譜共焦位移傳感器的工作角。未來,光譜共焦位移傳感器將繼續(xù)發(fā)展和完善,成為微納尺度位移測量領(lǐng)域的重要技術(shù)手段之一。
高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設(shè)計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導(dǎo)致球差擴大,并增加電子光學(xué)設(shè)計的優(yōu)化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應(yīng)該是一致的,如果縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng),這種離散系統(tǒng)也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射的玻璃或者衍射光學(xué)元件(DOE)可以形成足夠強的色差。然而,制造難度和成本相對較高,且在可見光范圍內(nèi)透射損耗也非常高。光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料的性能測試和分析;怎樣選擇光譜共焦廠家直銷價格
光譜共焦技術(shù)可以實現(xiàn)高分辨率的成像和分析;高采樣速率光譜共焦測量儀
光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術(shù)。它利用光學(xué)原理和共焦原理,通過測量光譜信號的位移來實現(xiàn)對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統(tǒng)配合使用。光源通常LED光源,以保證光譜信號的穩(wěn)定和清晰。檢測系統(tǒng)則包括光譜儀和位移傳感器,用于測量和記錄光譜信號的位移。其次,測量過程中需要對工件表面進行預(yù)處理。這包括清潔表面、去除雜質(zhì)和涂覆適當(dāng)?shù)姆瓷渫苛?,以提高光譜信號的反射率和清晰度。同時,還需要調(diào)整光譜共焦位移傳感器的焦距和角度,以確保光譜信號能夠準(zhǔn)確地投射到工件表面并被傳感器檢測到。接著,進行實際的測量操作。在測量過程中,光譜共焦位移傳感器會實時地對工件表面的光譜信號進行采集和分析。通過分析光譜信號的位移和波形變化,可以準(zhǔn)確地檢測出工件表面的缺陷,如凹陷、凸起、裂紋等。同時,光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對缺陷的精確定位和尺寸測量,為后續(xù)的修復(fù)和處理提供重要的參考數(shù)據(jù)。高采樣速率光譜共焦測量儀