實(shí)際中,光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理,利用單探頭可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料的單向精確厚度測(cè)量,可有效監(jiān)控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測(cè)量試劑瓶的壁厚,并且對(duì)瓶壁沒(méi)有壓力,通過(guò)設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)向反射鏡可實(shí)現(xiàn)孔壁結(jié)構(gòu)檢測(cè)和凹槽深度測(cè)量(90度側(cè)向出光版本探頭可直接測(cè)量深孔和凹槽)。光譜共焦傳感器還可用于層和玻璃間隙測(cè)量,以確定單層玻璃層之間的間隙厚度。光譜共焦位移傳感器采用的是非接觸式測(cè)量方式,可以避免傳統(tǒng)測(cè)量方式中的接觸誤差。高性能光譜共焦推薦廠家
根據(jù)對(duì)光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能:首先,產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測(cè)量,需要將其擴(kuò)大化;其次,產(chǎn)生軸向色差后,焦點(diǎn)在軸上會(huì)因單色光的球差問(wèn)題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM(半峰全寬)變大,影響分辨率;同時(shí),為確保單色光在軸上匯聚到單一點(diǎn),需要控制其球差;為保證傳感器的線性度并平衡其各聚焦位置的靈敏度,焦點(diǎn)位置應(yīng)盡量與波長(zhǎng)成線性關(guān)系。自動(dòng)測(cè)量?jī)?nèi)徑光譜共焦的原理光譜共焦位移傳感器廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械制造等;
隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,人們對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的要求越來(lái)越高,希望能夠生產(chǎn)出具有精度高、適應(yīng)性強(qiáng)、實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器,光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn),使問(wèn)題得到了解決,它是一種非接觸式光電位移傳感器,測(cè)量精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至于更高,對(duì)背景光,環(huán)境光源等雜光的抗干擾能力強(qiáng),適應(yīng)性強(qiáng),且其在體積方面具有小型化的特點(diǎn),因此應(yīng)用前景十分大量。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,鏡頭組性能參數(shù)對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度與分辨率起著決定性的作用。
在共焦位移傳感器中,能夠使在頭單元與控制裝置之間傳送投光用的光的光纖的端面具有共焦光學(xué)系統(tǒng)的銷孔的功能。由于使用受光波形和位移的測(cè)量值來(lái)控制顯示部的顯示,所以在設(shè)置頭單元時(shí),能夠根據(jù)顯示部的顯示來(lái)容易地辨識(shí)頭單元是否被適當(dāng)?shù)卦O(shè)置。由于在控制裝置側(cè)控制顯示部的顯示,所以能夠防止頭單元的構(gòu)造復(fù)雜化。此外,由于使用控制裝置的操作狀態(tài)來(lái)控制顯示部的顯示,所以能夠在頭單元的設(shè)置位置附近容易地辨識(shí)控制裝置是否正常操作。光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用;
差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試方法是一種通過(guò)激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號(hào),并利用差動(dòng)共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)的非接觸式拉曼光譜測(cè)試方法。該方法將樣品放置于差動(dòng)共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點(diǎn)對(duì)樣品進(jìn)行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散射信號(hào)。其中一束激光在焦平面發(fā)生微小振動(dòng),通過(guò)檢測(cè)二者之間的光路差異,可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)微區(qū)域的化學(xué)組成分析和表征。該方法可用于單個(gè)納米顆粒、生物組織、納米線、nanofilm等微型樣品的表征,以及材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域的研究。需要注意的是,在差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試中,樣品的濃度、表面性質(zhì)、對(duì)激光的散射能力等都會(huì)影響測(cè)試結(jié)果,因此需要對(duì)不同樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚砗蛢?yōu)化。該傳感器基于光譜共焦原理,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微小物體表面的位移變化進(jìn)行高精度的非接觸式測(cè)量。怎樣選擇光譜共焦排名
光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級(jí)別;高性能光譜共焦推薦廠家
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備,具有通用性強(qiáng),精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法,利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪廓掃描,并記錄測(cè)量掃描位置實(shí)時(shí)空間橫坐標(biāo),根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將測(cè)量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點(diǎn)組織映射為微觀輪廓,經(jīng)高斯濾波處理和評(píng)價(jià)從而得到測(cè)量對(duì)象的表面粗糙度信息。高性能光譜共焦推薦廠家