基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測(cè)量,是一種利用光譜共焦技術(shù)對(duì)手機(jī)曲面外殼輪廓進(jìn)行非接觸式測(cè)量的方法。該技術(shù)主要通過(guò)在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機(jī)曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點(diǎn),實(shí)現(xiàn)對(duì)表面高度的快速、準(zhǔn)確測(cè)量。通過(guò)采集不同波長(zhǎng)的反射光譜信息,結(jié)合光譜共焦技術(shù)提高空間分辨率,可以測(cè)量出手機(jī)曲面外殼上不同位置的高度值,得到完整的三維輪廓圖。相比傳統(tǒng)的機(jī)械測(cè)量和影像測(cè)量方法,基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測(cè)量具有非接觸、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢(shì),可以適用于手機(jī)外殼、香水瓶等曲面形狀復(fù)雜的產(chǎn)品的測(cè)量和質(zhì)量控制。光譜共焦位移傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性受到光源、光譜儀和探測(cè)器等因素的影響。原裝光譜共焦應(yīng)用案例
物體的表面形貌可以通過(guò)測(cè)量距離來(lái)確定,光譜共焦傳感器可以用于測(cè)量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類(lèi)型的材料時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射率并變得可見(jiàn)。系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,只要檢測(cè)到信號(hào)強(qiáng)度的變化。除了距離測(cè)量外,還可以使用信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量,這可以實(shí)現(xiàn)對(duì)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化。通過(guò)保持曝光時(shí)間不變,可以獲得有關(guān)表面評(píng)估的附加信息,而這在距離測(cè)量時(shí)是不可能的。智能光譜共焦找哪里光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)別的位移和形變測(cè)量,具有高精度和高分辨率的特點(diǎn)。
因?yàn)楣步箿y(cè)量方法具有高精度的三維成像能力,所以它已被用于表面輪廓和三維結(jié)構(gòu)的精密測(cè)量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測(cè)量校準(zhǔn)模型,并基于白光共焦光譜和精密旋轉(zhuǎn)軸系,開(kāi)發(fā)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級(jí)精度測(cè)量系統(tǒng)和靶丸圓心精密位置確定方法。使用白光共焦光譜測(cè)量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時(shí),其測(cè)量精度受到多個(gè)因素的影響,如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測(cè)量數(shù)據(jù)。
光譜共焦測(cè)量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過(guò)控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個(gè)波長(zhǎng)都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。通過(guò)共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會(huì)被光譜儀檢測(cè)并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進(jìn)行測(cè)量。共焦測(cè)量提供納米級(jí)分辨率,并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開(kāi)運(yùn)行。傳感器的測(cè)量范圍內(nèi)有一個(gè)非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁的表面,以及測(cè)量窄孔、小間隙和空腔。它通過(guò)對(duì)物體表面反射光的光譜分析,實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面位移變化的測(cè)量。
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合。白色光源和光譜儀可以完成一個(gè)相對(duì)高度范圍的準(zhǔn)確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測(cè)量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測(cè)物體放置在檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí),只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表面并反射回來(lái),產(chǎn)生波峰信號(hào)。其他波長(zhǎng)將失去對(duì)焦。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計(jì)算待測(cè)物體的位置,并創(chuàng)建對(duì)應(yīng)于光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編碼。超色差鏡片通過(guò)提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學(xué)信號(hào)的不同光譜成分,因此是傳感器的關(guān)鍵部件,其設(shè)計(jì)方案非常重要。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微小變形進(jìn)行精確測(cè)量,對(duì)于研究材料的性能具有重要意義;線陣光譜共焦常見(jiàn)問(wèn)題
光譜共焦技術(shù)在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用;原裝光譜共焦應(yīng)用案例
采用對(duì)比測(cè)試方法,首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測(cè)量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線中可以看出,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),兩種方法的測(cè)量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時(shí),白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù),這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個(gè)量級(jí),同時(shí),受環(huán)境振動(dòng)、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。原裝光譜共焦應(yīng)用案例